| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-11页 |
| 1.2 研究意义 | 第11-12页 |
| 1.3 研究现状 | 第12-16页 |
| 1.3.1 国外的研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3.2 国内的研究现状 | 第14-16页 |
| 1.4 论文主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第2章 微型ICP激发源简介 | 第17-23页 |
| 2.1 等离子体概述 | 第17-18页 |
| 2.2 等离子体发射光谱基本原理 | 第18-19页 |
| 2.3 微型ICP激发源简介 | 第19-20页 |
| 2.4 微型ICP激发源的工作原理 | 第20-22页 |
| 2.5 本章小结 | 第22-23页 |
| 第3章 微型ICP光谱仪的工作过程 | 第23-29页 |
| 3.1 实验平台 | 第23-25页 |
| 3.2 实验流程 | 第25-27页 |
| 3.2.1 样品预处理 | 第25-26页 |
| 3.2.2 实验准备 | 第26-27页 |
| 3.2.3 操作步骤 | 第27页 |
| 3.3 本章小结 | 第27-29页 |
| 第4章 微型ICP激发源对样品气体的定性分析研究 | 第29-36页 |
| 4.1 CO_2的激发试验 | 第29-31页 |
| 4.2 SO_2的激发试验 | 第31-33页 |
| 4.3 NO_2的激发试验 | 第33-35页 |
| 4.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第5章 微型ICP激发源微电路组件及工作参数的分析与优化 | 第36-51页 |
| 5.1 平面螺旋线圈规格参数的优化 | 第36-40页 |
| 5.2 CO_2谱线强度与射频功率及气压的关系 | 第40-44页 |
| 5.2.1 射频功率对CO_2谱线强度的影响 | 第41-42页 |
| 5.2.2 工作气压对CO_2谱线强度的影响 | 第42-44页 |
| 5.3 放电室电子激发温度与射频功率、气压的关系 | 第44-49页 |
| 5.3.1 电子温度的计算 | 第44-45页 |
| 5.3.2 射频功率对电子温度的影响 | 第45-46页 |
| 5.3.3 工作气压对电子温度的影响 | 第46-49页 |
| 5.4 本章小结 | 第49-51页 |
| 第6章 结论与展望 | 第51-53页 |
| 6.1 结论 | 第51-52页 |
| 6.2 展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 研究生期间发表的论文和获奖情况 | 第57页 |