宽带低损耗声表面波滤波器的研制
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-12页 |
| ·概述 | 第9-10页 |
| ·国内外发展动态 | 第10-11页 |
| ·本课题的主要任务 | 第11-12页 |
| 第二章 宽带低损耗声表面波滤波器的分析理论介绍 | 第12-20页 |
| ·设计理论介绍 | 第12-15页 |
| ·声表面波滤波器的基本工作原理 | 第12页 |
| ·倾斜换能器实现宽带低损耗声表面波滤波器的方法 | 第12-13页 |
| ·声表面波物理模型 | 第13-15页 |
| ·COM模型 | 第15-20页 |
| ·COM模型的定义 | 第15-17页 |
| ·COM模型参量的提取 | 第17-20页 |
| 第三章 宽带低损耗SAW器件设计及理论分析 | 第20-31页 |
| ·设计流程 | 第20-21页 |
| ·工作原理 | 第21-27页 |
| ·电容组合加权结构 | 第21-25页 |
| ·SPUDT结构 | 第25-27页 |
| ·SLANT/SPUDT滤波器孔径设计和距离优化 | 第27页 |
| ·物理模型的建立 | 第27-29页 |
| ·仿真结果分析 | 第29-31页 |
| 第四章 宽带低损耗SAW器件加工工艺 | 第31-60页 |
| ·加工工艺分析与讨论 | 第32-45页 |
| ·清洗工艺 | 第32-33页 |
| ·光刻工艺路径的选择 | 第33-35页 |
| ·曝光方式的比较和选择 | 第35-37页 |
| ·镀膜工艺的选择 | 第37-41页 |
| ·点焊方式及布线的确定 | 第41-44页 |
| ·封装工艺 | 第44-45页 |
| ·工艺难点与分析 | 第45-54页 |
| ·厚膜剥离 | 第45-50页 |
| ·体波抑制解决方案---开槽工艺 | 第50-54页 |
| ·可靠性分析与实验 | 第54-60页 |
| ·声表面波器件的主要失效模式 | 第54-56页 |
| ·本课题主要失效隐患 | 第56-57页 |
| ·表面沾污及多余物控制; | 第57-58页 |
| ·可靠性试验 | 第58-60页 |
| 第五章 研制结果和测试结果 | 第60-66页 |
| ·设计输出 | 第60-61页 |
| ·工艺分析与实验结果 | 第61-63页 |
| ·测试结果以及与普通70M器件的性能比较 | 第63-65页 |
| ·与仿真结果的比较 | 第65-66页 |
| 第六章 结论 | 第66-68页 |
| ·在设计方面 | 第66页 |
| ·在工艺方面 | 第66页 |
| ·生产了宽带低损耗滤波器器件 | 第66页 |
| ·存在问题及下一步打算 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-71页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第71页 |
