纳米孪晶金刚石微刀具的飞秒激光加工技术
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 微刀具制造的研究现状 | 第11-13页 |
| 1.3 飞秒激光加工技术的研究现状 | 第13-16页 |
| 1.4 金刚石微刀具的超短脉冲激光加工进展 | 第16-18页 |
| 1.5 论文的主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第2章 飞秒激光微加工的理论基础 | 第20-28页 |
| 2.1 飞秒激光微加工的技术特色及优势 | 第20-22页 |
| 2.2 飞秒激光加工机理分析 | 第22-23页 |
| 2.3 飞秒激光与透明介质相互作用 | 第23-27页 |
| 2.3.1 雪崩电离 | 第24-25页 |
| 2.3.2 多光子电离 | 第25-26页 |
| 2.3.3 库伦爆炸 | 第26-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 飞秒脉冲激光微加工系统的建立 | 第28-36页 |
| 3.1 超快掺钛蓝宝石飞秒激光器 | 第28-30页 |
| 3.2 微加工系统光路装置 | 第30-33页 |
| 3.2.1 光路传输系统 | 第31-32页 |
| 3.2.2 激光聚焦系统与焦点的调节 | 第32-33页 |
| 3.3 显微视频成像系统 | 第33-34页 |
| 3.4 微加工工作平台与控制系统 | 第34-35页 |
| 3.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 飞秒激光加工ntD的有限元分析 | 第36-48页 |
| 4.1 温度场仿真的理论基础 | 第36-39页 |
| 4.1.1 热传导方程与光吸收定律 | 第36-37页 |
| 4.1.2 激光加工有限元基本方程 | 第37-38页 |
| 4.1.3 传热模型基本假设 | 第38-39页 |
| 4.2 飞秒激光加工温度场的ANSYS仿真分析 | 第39-44页 |
| 4.2.1 实体模型的建立与网格的划分 | 第40-41页 |
| 4.2.2 载荷的处理与加载 | 第41页 |
| 4.2.3 材料的性能参数 | 第41-42页 |
| 4.2.4 初始条件与边界条件 | 第42-43页 |
| 4.2.5 单元生死设置 | 第43-44页 |
| 4.3 有限元仿真结果及分析 | 第44-47页 |
| 4.3.1 激光功率对烧蚀形貌的影响 | 第44-46页 |
| 4.3.2 扫描速度对烧蚀形貌的影响 | 第46-47页 |
| 4.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第5章 基于飞秒激光的ntD微刀具加工实验 | 第48-78页 |
| 5.1 针对ntD材料飞秒激光烧蚀阈值的研究 | 第48-58页 |
| 5.1.1 烧蚀阈值的计算方法 | 第48-52页 |
| 5.1.2 束腰半径和烧蚀阈值的计算 | 第52-58页 |
| 5.2 飞秒激光直线微槽加工 | 第58-69页 |
| 5.2.1 等效脉冲数模型 | 第58-60页 |
| 5.2.2 直线微槽加工实验 | 第60-69页 |
| 5.3 飞秒激光微刀具加工工艺实验 | 第69-77页 |
| 5.3.1 微刀具的三维成型加工实验 | 第70-75页 |
| 5.3.2 微刀具粗糙度与刃口锋利度检测 | 第75-77页 |
| 5.4 本章小结 | 第77-78页 |
| 结论 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-84页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第84-85页 |
| 致谢 | 第85页 |
