| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-27页 |
| 1.1 引言 | 第11-12页 |
| 1.2 常见TCO薄膜介绍及其应用 | 第12-15页 |
| 1.3 透明导电氧化物(TCO)薄膜的研究进展 | 第15-19页 |
| 1.3.1 TCO的透明导电机理 | 第15-16页 |
| 1.3.2 Nb：TiO_2薄膜的优势及研究进展 | 第16-18页 |
| 1.3.3 常见的透明导电TNO薄膜的制备方法 | 第18-19页 |
| 1.4 解决溶胶凝胶方法制备透明导电TNO薄膜难点的可行方案 | 第19-24页 |
| 1.4.1 增加载流子浓度以提升TNO薄膜透明导电性能可行性分析 | 第19-20页 |
| 1.4.2 改善晶体形貌以提升TNO薄膜透明导电性能可行性分析 | 第20-22页 |
| 1.4.3 增加氧空位浓度以提升TNO薄膜透明导电性能可行性分析 | 第22-24页 |
| 1.5 选题的意义和研究内容 | 第24-27页 |
| 第二章 实验与测试 | 第27-37页 |
| 2.1 实验原料 | 第27页 |
| 2.2 实验设备 | 第27-28页 |
| 2.3 样品制备 | 第28-30页 |
| 2.3.1 衬底清洗 | 第28-29页 |
| 2.3.2 溶胶配置 | 第29页 |
| 2.3.3 样品制备 | 第29-30页 |
| 2.4 表征方法 | 第30-37页 |
| 2.4.1 热分析 | 第30页 |
| 2.4.2 结构表征 | 第30-31页 |
| 2.4.3 形貌表征 | 第31-32页 |
| 2.4.4 柱状晶的评判标准 | 第32页 |
| 2.4.5 成分和价态表征 | 第32-33页 |
| 2.4.6 电学表征 | 第33-34页 |
| 2.4.7 光学表征 | 第34-37页 |
| 第三章 Nb在TiO_2中的掺杂效率评估 | 第37-49页 |
| 3.1 掺杂Nb原子在TNO薄膜内存在形式的讨论 | 第37-44页 |
| 3.2 Nb原子有效掺入率和有效电离率的讨论 | 第44-48页 |
| 3.3 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 Nb掺杂浓度和晶体形貌对TNO薄膜的性能影响 | 第49-69页 |
| 4.1 Nb掺杂浓度对TNO性能的影响 | 第49-55页 |
| 4.1.1 Nb掺杂浓度对TNO薄膜结晶性能的影响 | 第49-51页 |
| 4.1.2 Nb掺杂浓度对TNO薄膜晶体形貌的影响 | 第51-52页 |
| 4.1.3 Nb掺杂浓度对导电性的影响 | 第52-53页 |
| 4.1.4 Nb掺杂浓度对TNO薄膜可见光透过性能的影响 | 第53-55页 |
| 4.2 结果讨论与分析 | 第55-57页 |
| 4.3 晶体形貌对TNO薄膜的性能影响 | 第57-66页 |
| 4.3.1 颗粒状TNO薄膜样品的制备与结果讨论 | 第57-60页 |
| 4.3.2 柱状晶TNO薄膜样品的制备与结果讨论 | 第60-63页 |
| 4.3.3 比较两种不同晶体形貌对TNO薄膜光电性能影响 | 第63-66页 |
| 4.4 本章小节 | 第66-69页 |
| 第五章 退火气氛对TNO薄膜光电性能的影响 | 第69-75页 |
| 5.1 多种气氛退火条件下讨论TNO薄膜的光电性能 | 第69-73页 |
| 5.2 本章小结 | 第73-75页 |
| 第六章 结果与展望 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-83页 |
| 致谢 | 第83-85页 |
| 个人简历 | 第85-87页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文和所取得的成果 | 第87页 |
