| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 专用术语注释表 | 第8-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 亚波长高对比度光栅概述 | 第9-10页 |
| 1.2 亚波长高对比度光栅研究背景及技术优势 | 第10-12页 |
| 1.2.1 研究背景 | 第10-11页 |
| 1.2.2 技术优势 | 第11-12页 |
| 1.3 高对比度光栅在光电领域的应用 | 第12页 |
| 1.4 本文主要工作内容及研究方法 | 第12-14页 |
| 1.4.1 本文主要工作内容 | 第12-13页 |
| 1.4.2 存在的关键问题 | 第13页 |
| 1.4.3 采取的研究方案 | 第13-14页 |
| 1.5 本文结构安排 | 第14-15页 |
| 第二章 亚波长光栅理论分析及数值计算 | 第15-32页 |
| 2.1 亚波长衍射光栅理论分析 | 第15页 |
| 2.2 衍射光栅数值计算原理 | 第15-22页 |
| 2.2.1 严格耦合波理论（RCWA） | 第16-20页 |
| 2.2.2 时域有限差分方法（FDTD） | 第20-21页 |
| 2.2.3 有限单元法（FEM） | 第21-22页 |
| 2.3 Rsoft 软件使用介绍 | 第22-23页 |
| 2.4 高对比度光栅（HCGs）结构设计 | 第23-25页 |
| 2.5 高对比度光栅（HCGs）参数分析 | 第25-31页 |
| 2.5.1 TM-HCGs 和 TE-HCGs | 第25-27页 |
| 2.5.2 光栅参数设计 | 第27-31页 |
| 2.6 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 亚波长周期高对比度光栅 | 第32-47页 |
| 3.1 亚波长周期高对比度光栅概述 | 第32页 |
| 3.2 悬空 SOI 周期高对比光栅 | 第32-39页 |
| 3.2.1 悬空 SOI 周期高对比度光栅结构设计 | 第33-36页 |
| 3.2.2 悬空 SOI 周期高对比度光栅工艺流程 | 第36-38页 |
| 3.2.3 悬空 SOI 周期高对比度光栅结果分析 | 第38-39页 |
| 3.3 悬空 GaN 周期高对比度光栅 | 第39-46页 |
| 3.3.1 悬空 GaN 周期高对比度光栅结构设计 | 第40-42页 |
| 3.3.2 悬空 GaN 周期高对比度光栅工艺流程 | 第42-45页 |
| 3.3.3 悬空 GaN 周期高对比度光栅结果分析 | 第45-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 亚波长非周期高对比度光栅 | 第47-61页 |
| 4.1 亚波长非周期高对比度光栅（HCGs）概述 | 第47-48页 |
| 4.2 非周期高对比度光栅（HCGs）设计及数值计算 | 第48-55页 |
| 4.2.1 聚焦反射的 Si HCGs 光栅 | 第52-53页 |
| 4.2.2 聚焦透射的 GaN HCGs 光栅 | 第53-55页 |
| 4.3 非周期高对比度光栅（HCGs）工艺流程 | 第55-58页 |
| 4.3.1 Si HCGs 工艺流程 | 第55-56页 |
| 4.3.2 GaN HCGs 工艺流程 | 第56-58页 |
| 4.4 非周期高对比度光栅（HCGs）结果分析 | 第58-59页 |
| 4.5 本章小结 | 第59-61页 |
| 第五章 总结及展望 | 第61-63页 |
| 5.1 工作总结 | 第61-62页 |
| 5.2 未来展望 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第66-67页 |
| 附录2 攻读硕士学位期间申请的专利 | 第67-68页 |
| 附录3 攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
