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激光干涉准直技术的研究

中文摘要第4-5页
ABSTRACT第5页
第一章 绪论第7-12页
    1.1 概述第7-10页
    1.2 准直技术研究与应用现状第10页
    1.3 本课题主要研究内容第10-12页
第二章 系统工作原理和系统结构第12-18页
    2.1 系统工作原理第12-14页
    2.2 系统总体结构第14-15页
    2.3 光电元件第15-18页
第三章 系统硬件设计第18-33页
    3.1 激光发射头机械设计第18-20页
    3.2 电路系统设计第20-33页
第四章 软件设计第33-43页
    4.1 程序流程框图第33页
    4.2 数据处理第33-40页
    4.3 直线度测量与评定方法第40-43页
第五章 小型化和低功耗化第43-48页
    5.1 CMOS 理论分析第43-44页
    5.2 降低功耗措施第44-48页
第六章 仪器性能的试验研究第48-62页
    6.1 实验结果与分析第48-60页
    6.2 误差来源分析及其对策第60-62页
总结与展望第62-63页
参考文献第63-65页
发表论文和参加科研情况说明第65-66页
致谢第66页

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