| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-14页 |
| 1.1 论文研究背景和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 论文结构安排 | 第11-13页 |
| 参考文献 | 第13-14页 |
| 第二章 SOI微环谐振滤波器 | 第14-34页 |
| 2.1 SOI波导的研究 | 第14-18页 |
| 2.1.1 光波导的常见材料 | 第14-15页 |
| 2.1.2 SOI 波导 | 第15-18页 |
| 2.2 常见光学滤波器 | 第18-20页 |
| 2.2.1 介质膜滤光片(TFF) | 第18-19页 |
| 2.2.2 Fabry-Perot 腔滤波器 | 第19页 |
| 2.2.3 平面反射光栅滤波器 | 第19页 |
| 2.2.4 微环谐振滤波器 | 第19-20页 |
| 2.3 微环谐振滤波器的常见种类 | 第20-28页 |
| 2.3.1 串联微环谐振滤波器 | 第20-21页 |
| 2.3.2 并联微环谐振滤波器 | 第21-22页 |
| 2.3.3 阵列和新颖结构微环谐振滤波器 | 第22-23页 |
| 2.3.4 无源微环谐振滤波器 | 第23-25页 |
| 2.3.5 有源微环谐振滤波器 | 第25-26页 |
| 2.3.6 可调谐微环谐振滤波器 | 第26-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 参考文献 | 第29-34页 |
| 第三章 SOI微环谐振滤波器的基本特性和理论分析 | 第34-48页 |
| 3.1 微环谐振滤波器基本结构 | 第34-35页 |
| 3.2 谐振方程 | 第35-36页 |
| 3.3 微环谐振滤波器的主要性能参数 | 第36-37页 |
| 3.4 微环谐振滤波器的耦合系数 | 第37-42页 |
| 3.5 微环谐振滤波器理论分析 | 第42-46页 |
| 3.5.1 单微环谐振器 | 第42-44页 |
| 3.5.2 串联微环谐振器 | 第44-45页 |
| 3.5.3 并联微环谐振器 | 第45-46页 |
| 3.6 本章小结 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-48页 |
| 第四章 新型SOI同心微环谐振器的研究 | 第48-64页 |
| 4.1 同心微环谐振滤波器结构与理论分析 | 第48-51页 |
| 4.2 新型SOI同心微环谐振滤波器的基本结构 | 第51-53页 |
| 4.3 新型SOI同心微环谐振滤波器理论分析 | 第53-55页 |
| 4.4 新型SOI同心微环谐振滤波器仿真结果 | 第55-57页 |
| 4.5 新型SOI同心微环谐振滤波器的应用前景 | 第57-60页 |
| 4.5.1 适用于DWDM系统的宽自由谱新型同心环结构 | 第57-58页 |
| 4.5.2 适用于生物传感的新型同心环结构 | 第58-60页 |
| 4.6 具有平顶陡边效果的同心多环谐振器结构 | 第60-61页 |
| 4.7 本章小结 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-64页 |
| 第五章 新型SOI同心微环谐振器的设计与实验 | 第64-72页 |
| 5.1 微环谐振器的设计 | 第64页 |
| 5.2 微环谐振器的制作 | 第64-67页 |
| 5.2.1 电子束曝光技术 | 第66页 |
| 5.2.2 感应耦合等离子(ICP)刻蚀技术 | 第66-67页 |
| 5.3 微环谐振器的测试 | 第67-70页 |
| 5.3.1 测试系统搭建 | 第67-68页 |
| 5.3.2 微环谐振器性能测试 | 第68-70页 |
| 5.4 本章小结 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-72页 |
| 第六章 总结 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74-76页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第76页 |