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原子力显微镜在Ge2Sb2Te5相变薄膜与纳米刻蚀加工中的应用研究

摘要第1-5页
Abstract第5-8页
引言第8-9页
1 原子力显微镜第9-25页
   ·原子力显微镜的工作原理第9-12页
   ·原子力显微镜的工作模式第12-14页
     ·接触模式(Contact Mode)第12-13页
     ·非接触模式(Non-contact Mode)第13页
     ·轻敲模式(Tapping Mode)第13-14页
     ·其他模式第14页
   ·原子力显微镜的力-距离曲线第14-15页
   ·原子力显微镜的针尖展宽效应第15-17页
   ·原子力显微镜的应用第17-25页
     ·在生物医学领域的应用第17-18页
     ·在材料成像和测试中的应用第18-19页
     ·在电化学领域的应用第19页
     ·在高密度光存储中的应用第19-22页
     ·在纳米加工领域的应用第22-25页
2 Ge_2Te_2Sb_5薄膜原子力显微镜的原位温控实验第25-37页
   ·相变光存储材料第25页
   ·Ge_2Sb_2Te_5薄膜的相变存储原理第25-26页
   ·原子力显微镜的原位温控实验第26-36页
     ·Ge_2Sb_2Te_5薄膜的制备第26-27页
     ·实验仪器和样品的测试第27-28页
     ·实验结果与讨论第28-36页
   ·小结第36-37页
3 原子力显微镜的纳米刻蚀应用第37-49页
   ·纳米技术第37页
   ·基于AFM的机械刻蚀加工实验第37-48页
     ·AFM探针的机械刻蚀原理第37-38页
     ·实验仪器和样品第38-39页
     ·结果与讨论第39-48页
   ·小结第48-49页
结论第49-50页
参考文献第50-54页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第54-55页
致谢第55-56页

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