摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-8页 |
引言 | 第8-9页 |
1 原子力显微镜 | 第9-25页 |
·原子力显微镜的工作原理 | 第9-12页 |
·原子力显微镜的工作模式 | 第12-14页 |
·接触模式(Contact Mode) | 第12-13页 |
·非接触模式(Non-contact Mode) | 第13页 |
·轻敲模式(Tapping Mode) | 第13-14页 |
·其他模式 | 第14页 |
·原子力显微镜的力-距离曲线 | 第14-15页 |
·原子力显微镜的针尖展宽效应 | 第15-17页 |
·原子力显微镜的应用 | 第17-25页 |
·在生物医学领域的应用 | 第17-18页 |
·在材料成像和测试中的应用 | 第18-19页 |
·在电化学领域的应用 | 第19页 |
·在高密度光存储中的应用 | 第19-22页 |
·在纳米加工领域的应用 | 第22-25页 |
2 Ge_2Te_2Sb_5薄膜原子力显微镜的原位温控实验 | 第25-37页 |
·相变光存储材料 | 第25页 |
·Ge_2Sb_2Te_5薄膜的相变存储原理 | 第25-26页 |
·原子力显微镜的原位温控实验 | 第26-36页 |
·Ge_2Sb_2Te_5薄膜的制备 | 第26-27页 |
·实验仪器和样品的测试 | 第27-28页 |
·实验结果与讨论 | 第28-36页 |
·小结 | 第36-37页 |
3 原子力显微镜的纳米刻蚀应用 | 第37-49页 |
·纳米技术 | 第37页 |
·基于AFM的机械刻蚀加工实验 | 第37-48页 |
·AFM探针的机械刻蚀原理 | 第37-38页 |
·实验仪器和样品 | 第38-39页 |
·结果与讨论 | 第39-48页 |
·小结 | 第48-49页 |
结论 | 第49-50页 |
参考文献 | 第50-54页 |
攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第54-55页 |
致谢 | 第55-56页 |