| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第12-25页 |
| 1.1 研究背景 | 第12-16页 |
| 1.2 研究现状 | 第16-22页 |
| 1.2.1 中间反射层研究进展 | 第17-19页 |
| 1.2.2 隧道结研究进展 | 第19-22页 |
| 1.3 研究目的 | 第22-23页 |
| 1.3.1 基于叠层结构的硅基薄膜太阳电池的中间层研究 | 第22页 |
| 1.3.2 基于叠层结构的新型隧穿反射层概念研究 | 第22-23页 |
| 1.3.3 新型隧穿反射层材料的制备与性能研究 | 第23页 |
| 1.3.4 研究成果与器件级电池的结合 | 第23页 |
| 1.4 论文组织结构 | 第23-25页 |
| 第二章 制备与表征薄膜及电池的技术与方法 | 第25-42页 |
| 2.1 硅氧合金薄膜及硅基薄膜电池的制备 | 第25-34页 |
| 2.1.1 实验设备 | 第25-29页 |
| 2.1.2 原材料及衬底 | 第29-31页 |
| 2.1.3 电池结构及制备 | 第31-32页 |
| 2.1.4 掺杂 μc-SiO_x:H及其它硅薄膜的制备 | 第32-33页 |
| 2.1.5 铝掺杂SiO_x薄膜的制备 | 第33-34页 |
| 2.2 硅氧合金薄膜及硅基薄膜电池的表征 | 第34-41页 |
| 2.2.1 薄膜厚度表征 | 第34-35页 |
| 2.2.2 薄膜光学性质表征 | 第35-36页 |
| 2.2.3 薄膜组成成分表征 | 第36-37页 |
| 2.2.4 薄膜晶化率表征 | 第37-39页 |
| 2.2.5 电池表征 | 第39-41页 |
| 2.3 本章小结 | 第41-42页 |
| 第三章 硅薄膜叠层电池的中间层 | 第42-58页 |
| 3.1 引言 | 第42-43页 |
| 3.2 中间层光学设计原理 | 第43-50页 |
| 3.2.1 光学特性 | 第43-45页 |
| 3.2.2 基于反射率的理论计算 | 第45-50页 |
| 3.3 折射率与厚度的关系 | 第50-52页 |
| 3.4 双功能中间层 | 第52-56页 |
| 3.4.1 工作原理 | 第53-54页 |
| 3.4.2 改进的双功能中间层 | 第54-56页 |
| 3.5 本章小结 | 第56-58页 |
| 第四章 掺杂 μc-SiO_x:H薄膜制备与研究 | 第58-80页 |
| 4.1 引言 | 第58-59页 |
| 4.2 掺杂 μc-SiO_x:H薄膜的制备 | 第59-62页 |
| 4.2.1 实验参数变量 | 第59-62页 |
| 4.2.2 实验结果表征 | 第62页 |
| 4.3 掺杂 μc-SiO_x:H薄膜的研究 | 第62-78页 |
| 4.3.1 沉积速率 | 第62-65页 |
| 4.3.2 氧含量 | 第65-68页 |
| 4.3.3 晶化率 | 第68-74页 |
| 4.3.4 光学性质 | 第74-78页 |
| 4.4 本章小结 | 第78-80页 |
| 第五章 新型隧穿反射层及掺铝硅氧合金薄膜 | 第80-96页 |
| 5.1 引言 | 第80-81页 |
| 5.2 叠层电池的隧道结 | 第81-83页 |
| 5.2.1 隧道结的电学特性 | 第81-82页 |
| 5.2.2 隧道结的工作原理 | 第82-83页 |
| 5.3 新型隧穿反射层 | 第83-87页 |
| 5.3.1 隧穿反射层的工作原理 | 第83-84页 |
| 5.3.2 材料的选择原则 | 第84-87页 |
| 5.4 掺铝硅氧薄膜的制备与表征 | 第87-94页 |
| 5.4.1 a-SiO_x:Al薄膜的制备 | 第87-90页 |
| 5.4.2 a-SiO_x:Al薄膜的表征 | 第90-94页 |
| 5.5 掺铝硅氧薄膜在电池中的模拟研究 | 第94-95页 |
| 5.6 本章小结 | 第95-96页 |
| 第六章 μc-SiO_x:H薄膜在电池器件中的应用 | 第96-108页 |
| 6.1 引言 | 第96-97页 |
| 6.2 单结 μc-Si:H电池 | 第97-100页 |
| 6.2.1 单结太阳电池的制备 | 第97-98页 |
| 6.2.2 单结太阳电池的性能研究 | 第98-100页 |
| 6.3 双结a-Si:H/μc-Si:H电池 | 第100-103页 |
| 6.3.1 双结太阳电池的制备 | 第100-102页 |
| 6.3.2 双结太阳电池的性能研究 | 第102-103页 |
| 6.4 三结a-Si:H/a-SiGe:H/a-SiGe:H电池 | 第103-107页 |
| 6.4.1 三结太阳电池的制备 | 第103-105页 |
| 6.4.2 三结太阳电池的性能研究 | 第105-107页 |
| 6.5 本章小结 | 第107-108页 |
| 第七章 结论与展望 | 第108-112页 |
| 7.1 主要结论 | 第108-109页 |
| 7.2 创新之处 | 第109-110页 |
| 7.3 进一步研究工作展望 | 第110-112页 |
| 参考文献 | 第112-123页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文和研究成果 | 第123-125页 |
| 致谢 | 第125-126页 |
