| 摘要 | 第7-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第1章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.1.1 MEMS/NEMS的概念 | 第10页 |
| 1.1.2 MEMS/NEMS的分类及应用 | 第10-11页 |
| 1.1.2.1 MEMS/NEMS的分类 | 第10页 |
| 1.1.2.2 MEMS/NEMS的应用 | 第10-11页 |
| 1.1.3 MEMS/NEMS存在的问题 | 第11页 |
| 1.2 国内外本学科领域的发展现状与趋势 | 第11-20页 |
| 1.2.1 有序分子膜 | 第11-12页 |
| 1.2.2 固体润滑薄膜 | 第12-13页 |
| 1.2.3 石墨烯及石墨烯衍生物薄膜 | 第13-20页 |
| 1.2.3.1 石墨烯 | 第13-14页 |
| 1.2.3.2 氧化石墨烯及氧化石墨烯薄膜的摩擦学研究进展 | 第14-17页 |
| 1.2.3.3 氟化石墨烯及氟化石墨烯薄膜的摩擦学研究进展 | 第17-20页 |
| 1.3 本论文的选题依据和研究内容 | 第20-22页 |
| 第2章 恒电压电泳沉积氧化石墨烯生长过程及摩擦学性能 | 第22-28页 |
| 2.1 实验 | 第23页 |
| 2.1.1 样品制备 | 第23页 |
| 2.1.2 样品结构和性能表征 | 第23页 |
| 2.2 结果与讨论 | 第23-27页 |
| 2.2.1 GO薄膜的表征 | 第23-26页 |
| 2.2.2 GO薄膜的力学性能 | 第26页 |
| 2.2.3 GO薄膜的摩擦学性能 | 第26-27页 |
| 2.3 小结 | 第27-28页 |
| 第3章 恒电流电泳沉积氧化石墨烯薄膜以及摩擦学性能 | 第28-36页 |
| 3.1 实验 | 第28-29页 |
| 3.1.1 样品制备 | 第28-29页 |
| 3.1.2 样品结构和性能表征 | 第29页 |
| 3.2 结果与讨论 | 第29-35页 |
| 3.2.1 GO薄膜的表征 | 第29-32页 |
| 3.2.2 GO薄膜的力学性能 | 第32-33页 |
| 3.2.3 GO薄膜的摩擦学性能 | 第33-35页 |
| 3.3 小结 | 第35-36页 |
| 第4章 电泳沉积氟化氧化石墨烯薄膜摩擦学性能以及生物相容性 | 第36-43页 |
| 4.1 实验 | 第36-38页 |
| 4.1.1 样品制备 | 第36-37页 |
| 4.1.2 样品结构和性能表征 | 第37页 |
| 4.1.3 生物相容性测试 | 第37-38页 |
| 4.1.3.1 MC3T3-E1细胞的培养 | 第37-38页 |
| 4.1.3.2 MTT测定 | 第38页 |
| 4.2 结果与讨论 | 第38-42页 |
| 4.2.1 FGO的表征 | 第38-39页 |
| 4.2.2 FGO薄膜的表征及摩擦学性能 | 第39-40页 |
| 4.2.3 FGO薄膜的生物相容性 | 第40-42页 |
| 4.3 小结 | 第42-43页 |
| 结论 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 附录A 攻读学位期间所发表的学术论文目录 | 第52页 |
