基于ARM控制系统的原位压痕测试仪及试验研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第11-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-18页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第12-16页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第16-18页 |
| 1.3 原位纳米压痕的发展趋势 | 第18-19页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第2章 原位纳米压痕技术基础理论 | 第21-35页 |
| 2.1 原位纳米压痕的基本理论 | 第21-24页 |
| 2.2 压头的选取以及试件的处理 | 第24-27页 |
| 2.2.1 压头的选取 | 第24-26页 |
| 2.2.2 试件的处理 | 第26-27页 |
| 2.2.3 测试环境的影响 | 第27页 |
| 2.3 精密驱动技术 | 第27-31页 |
| 2.3.1 压电叠堆的基本原理 | 第27-29页 |
| 2.3.2 压电叠堆的选取 | 第29-30页 |
| 2.3.3 压电叠堆迟滞特性 | 第30-31页 |
| 2.4 柔性铰链 | 第31-34页 |
| 2.4.1 柔性铰链的特点 | 第31-32页 |
| 2.4.2 柔性铰链的分类 | 第32页 |
| 2.4.3 柔性铰链的选材 | 第32-33页 |
| 2.4.4 柔性铰链力学特性 | 第33-34页 |
| 2.5 本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 原位纳米压痕测试仪控制系统的设计 | 第35-53页 |
| 3.1 原位纳米压痕仪的概述及其工作原理 | 第35-36页 |
| 3.2 原位纳米压痕仪控制系统的设计 | 第36-41页 |
| 3.2.1 ARM9处理器 | 第36-38页 |
| 3.2.2 传感器的选取 | 第38-41页 |
| 3.3 电控部分的硬件设计 | 第41-44页 |
| 3.4 电控本分的软件设计以及网口通讯 | 第44-50页 |
| 3.4.1 PWM技术 | 第44-46页 |
| 3.4.2 A/D和D/A | 第46-47页 |
| 3.4.3 以太网通讯 | 第47-50页 |
| 3.5 Lab VIEW简介 | 第50-51页 |
| 3.6 压痕测试控制模式 | 第51-52页 |
| 3.7 本章小结 | 第52-53页 |
| 第4章 驱动系统动力学模型及整机柔度 | 第53-61页 |
| 4.1 压电叠堆的力学分析 | 第53-55页 |
| 4.2 柔性铰链的动力学模型 | 第55-57页 |
| 4.3 柔性铰链机构的有限元仿真分析 | 第57-58页 |
| 4.4 机架柔度 | 第58-59页 |
| 4.5 本章小结 | 第59-61页 |
| 第5章 原位纳米压痕测试仪的校准与试验 | 第61-67页 |
| 5.1 压痕测试仪的基础结构 | 第61页 |
| 5.2 力传感器以及位移传感器的标定 | 第61-63页 |
| 5.2.1 力传感器标定 | 第62页 |
| 5.2.2 位移传感器标定 | 第62-63页 |
| 5.3 原位压痕仪闭环控制特性 | 第63-64页 |
| 5.4 单晶硅压痕试验 | 第64-65页 |
| 5.5 对生物方解石重复性测试 | 第65页 |
| 5.6 误差分析与改进 | 第65-66页 |
| 5.7 本章小结 | 第66-67页 |
| 第6章 总结与展望 | 第67-69页 |
| 6.1 总结 | 第67页 |
| 6.2 展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-74页 |
| 作者简介 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
