| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 课题研究的背景及意义 | 第9-11页 |
| 1.2 国内外发展现状 | 第11-17页 |
| 1.2.1 表面等离激元的发展现状 | 第11-13页 |
| 1.2.2 与表面等离激元相关的太赫兹与光频技术的发展现状 | 第13-17页 |
| 1.3 课题来源及论文主要工作 | 第17-18页 |
| 2 太赫兹与光频表面等离激元器件的建模与仿真 | 第18-54页 |
| 2.1 表面等离激元色散关系 | 第18-23页 |
| 2.2 表面等离激元的激发方法 | 第23-26页 |
| 2.3 太赫兹与光频表面等离激元器件的建模 | 第26-32页 |
| 2.4 表面等离激元器件特性仿真 | 第32-53页 |
| 2.4.1 太赫兹表面等离激元器件光电特性仿真 | 第33-47页 |
| 2.4.2 光频表面等离激元器件电磁特性仿真 | 第47-53页 |
| 2.5 小结 | 第53-54页 |
| 3 太赫兹和光频表面等离激元器件设计与制作 | 第54-69页 |
| 3.1 太赫兹表面等离激元器件的设计与制作 | 第54-59页 |
| 3.1.1 器件原理样片结构与封装形态 | 第54-55页 |
| 3.1.2 光刻版设计与制作 | 第55-57页 |
| 3.1.3 器件化制作工艺流程 | 第57-59页 |
| 3.2 光频表面等离激元器件的设计与制作 | 第59-68页 |
| 3.2.1 器件结构与参数体系 | 第60-62页 |
| 3.2.2 制作方法与工艺流程 | 第62-68页 |
| 3.3 本章小结 | 第68-69页 |
| 4 表面等离激元器件的测试与分析 | 第69-98页 |
| 4.1 太赫兹表面等离激元器件透射特性测试与分析 | 第69-74页 |
| 4.1.1 太赫兹器件透射特性 | 第69-72页 |
| 4.1.2 测试结果分析与讨论 | 第72-74页 |
| 4.2 光频表面等离激元器件光场分布特性测试与分析 | 第74-97页 |
| 4.2.1 红外表面等离激元器件近场光强分布特性测试 | 第76-86页 |
| 4.2.2 可见光表面等离激元器件的近场光分布特性测试 | 第86-95页 |
| 4.2.3 测试结果分析与讨论 | 第95-97页 |
| 4.3 本章小结 | 第97-98页 |
| 5 总结与展望 | 第98-100页 |
| 5.1 总结 | 第98-99页 |
| 5.2 展望 | 第99-100页 |
| 致谢 | 第100-101页 |
| 参考文献 | 第101-106页 |
| 附录1 攻读硕士期间发表的文章 | 第106页 |
