| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 课题来源及研究的背景和意义 | 第10-11页 |
| 1.1.1 课题的来源 | 第10页 |
| 1.1.2 课题研究的背景和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外在该方向的研究现状及分析 | 第11-22页 |
| 1.2.1 纳米硬度技术及金刚石压头 | 第11-14页 |
| 1.2.2 金刚石压头设计及制造方法 | 第14-18页 |
| 1.2.3 金刚石压头检测方法与设备 | 第18-22页 |
| 1.3 课题主要研究内容 | 第22-24页 |
| 第2章 金刚石维氏压头的设计、误差分析和研磨振动分析 | 第24-48页 |
| 2.1 引言 | 第24页 |
| 2.2 金刚石维氏压头的设计方法 | 第24-31页 |
| 2.2.1 金刚石晶体任意晶面晶向动态微观抗拉强度简介 | 第24-26页 |
| 2.2.2 金刚石维氏压头的锥面动态微观抗拉强度优化设计 | 第26-28页 |
| 2.2.3 金刚石晶体研磨效率实验 | 第28-31页 |
| 2.3 金刚石维氏压头的几何模型及误差分析 | 第31-40页 |
| 2.3.1 金刚石维氏压头的几何建模 | 第31-33页 |
| 2.3.2 金刚石维氏压头的面积函数及其影响因素分析 | 第33-37页 |
| 2.3.3 金刚石维氏压头几何形状误差分析 | 第37-40页 |
| 2.4 研磨盘的轴向振动分析与检测 | 第40-47页 |
| 2.4.1 研磨盘的有限元模态分析 | 第40-44页 |
| 2.4.2 研磨盘表面轴向振动的激光检测 | 第44-47页 |
| 2.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 第3章 金刚石维氏压头的机械研磨工艺实验 | 第48-60页 |
| 3.1 引言 | 第48页 |
| 3.2 研磨工艺参数对压头尖端横刃长度和钝圆半径的影响 | 第48-57页 |
| 3.2.1 金刚石磨料粒度 | 第48-50页 |
| 3.2.2 砂轮转速 | 第50-52页 |
| 3.2.3 研磨压力 | 第52-53页 |
| 3.2.4 往复运动 | 第53-57页 |
| 3.3 金刚石维氏压头的研磨工艺参数优选组合 | 第57-59页 |
| 3.3.1 研磨工艺参数优选组合 | 第57-58页 |
| 3.3.2 工艺参数优选后研磨压头的分析与评价 | 第58-59页 |
| 3.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 第4章 金刚石维氏压头制造精度的检测与评价技术 | 第60-72页 |
| 4.1 引言 | 第60页 |
| 4.2 金刚石维氏压头的初步检测与评价 | 第60-61页 |
| 4.3 金刚石维氏压头的局部检测与评价 | 第61-64页 |
| 4.3.1 钝圆半径和尖端横刃的检测与评价 | 第62页 |
| 4.3.2 面积函数的检测与评价方法 | 第62-64页 |
| 4.4 金刚石维氏压头的整体检测与评价 | 第64-68页 |
| 4.4.1 角度参数的检测与评价 | 第65-67页 |
| 4.4.2 同轴度的检测与评价 | 第67-68页 |
| 4.5 金刚石维氏压头综合性能的纳米压痕对比实验 | 第68-71页 |
| 4.6 本章小结 | 第71-72页 |
| 结论 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-79页 |
| 致谢 | 第79页 |
