| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-19页 |
| 1.1 引言 | 第8页 |
| 1.2 半导体激光器的种类及发展 | 第8-16页 |
| 1.2.1 可调谐FP激光器 | 第9-10页 |
| 1.2.2 可调谐DFB激光器 | 第10-11页 |
| 1.2.3 可调谐DBR激光器 | 第11-12页 |
| 1.2.4 可调谐VCSEL激光器 | 第12-13页 |
| 1.2.5 可调谐外腔激光器 | 第13-14页 |
| 1.2.6 激光器各种调谐方式对比 | 第14-16页 |
| 1.3 基于AlN器件的研究进展 | 第16页 |
| 1.4 本文研究的目的和意义 | 第16-19页 |
| 第二章 基于ALN材料的DFB激光器基本原理 | 第19-29页 |
| 2.1 基于ALN材料的基本性质 | 第19-22页 |
| 2.1.1 ALN的晶格结构及物理化学性质 | 第19-21页 |
| 2.1.2 AlN的光学及电学性质 | 第21-22页 |
| 2.2 DFB激光器的基本理论与分析模型 | 第22-28页 |
| 2.2.1 DFB-LD基本理论 | 第22-23页 |
| 2.2.2 麦克斯韦方程 | 第23-24页 |
| 2.2.3 耦合波理论 | 第24-26页 |
| 2.2.4 DFB-LD谐振条件 | 第26-27页 |
| 2.2.5 介质平板波导理论 | 第27-28页 |
| 2.3 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 基于AlN的DFB-LD谐振腔的结构设计与仿真分析 | 第29-49页 |
| 3.1 基于AlN的DFB激光器光栅谐振腔的COMSOL软件建模 | 第29-33页 |
| 3.1.1 COMSOL软件概述及建模 | 第29-30页 |
| 3.1.2 DFB-LD光栅谐振腔结构参数计算 | 第30-31页 |
| 3.1.3 DFB-LD光栅谐振腔建模 | 第31-33页 |
| 3.2 DFB-LD光腔结构参数的优化与谐振效果分析 | 第33-43页 |
| 3.2.1 光栅高度对谐振效果的影响 | 第33-35页 |
| 3.2.2 光栅宽度对谐振效果的影响 | 第35-39页 |
| 3.2.3 光栅周期对谐振效果的影响 | 第39-41页 |
| 3.2.4 谐振腔波导有源层厚度对谐振效果的影响 | 第41-43页 |
| 3.3 DFB-LD光腔结构参数对激光器设计输出波长敏感性分析 | 第43-47页 |
| 3.3.1 光栅高度对激光器设计输出波长的敏感性研究 | 第43-45页 |
| 3.3.2 光栅宽度对激光器设计输出波长的敏感性研究 | 第45-46页 |
| 3.3.3 光栅周期对激光器设计输出波长的敏感性研究 | 第46-47页 |
| 3.3.4 有源层厚度对激光器设计输出波长的敏感性研究 | 第47页 |
| 3.4 本章小结 | 第47-49页 |
| 第四章 基于MEMS的AlN波段可调DFB-LD结构设计 | 第49-62页 |
| 4.1 基于MEMS的可调谐驱动装置的设计 | 第49-55页 |
| 4.1.1 MEMS概要介绍 | 第49-50页 |
| 4.1.2 AlN材料的机械性能 | 第50-51页 |
| 4.1.3 MEMS主要驱动方式对比 | 第51页 |
| 4.1.4 可调谐MEMS驱动光栅设计 | 第51-52页 |
| 4.1.5 静电驱动原理 | 第52-55页 |
| 4.2 基于AlN的可调谐DFB-LD的设计与仿真分析 | 第55-61页 |
| 4.2.1 基于AlN可调DFB激光器结构设计 | 第55-56页 |
| 4.2.2 基于AlN材料可调光栅的模拟分析 | 第56-58页 |
| 4.2.3 偏置电压驱动光栅位移的可行性研究 | 第58-61页 |
| 4.3 本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 总结与展望 | 第62-64页 |
| 5.1 论文及工作总结 | 第62页 |
| 5.2 进一步工作 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第67-68页 |
| 附录2 攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
