| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| 1.1 选题背景 | 第9页 |
| 1.2 纳米复合硬质涂层韧性的研究现状 | 第9-13页 |
| 1.3 纳米压痕技术 | 第13-17页 |
| 1.3.1 纳米压痕的一般概念 | 第13-14页 |
| 1.3.2 纳米压痕技术的理论基础 | 第14-16页 |
| 1.3.3 纳米压痕技术的应用 | 第16-17页 |
| 1.4 国内外压痕试验的仿真研究 | 第17-19页 |
| 1.4.1 分子动力学仿真 | 第17-18页 |
| 1.4.2 有限元仿真 | 第18-19页 |
| 1.5 弹性力学与有限元方法 | 第19-22页 |
| 1.5.1 弹性力学简介 | 第19-20页 |
| 1.5.2 有限元基础理论 | 第20-21页 |
| 1.5.3 高级有限元分析 | 第21-22页 |
| 1.6 本课题研究的主要内容 | 第22-23页 |
| 第二章 纳米压痕测量过程的有限元仿真 | 第23-34页 |
| 2.1 非线性有限元软件ABAQUS简介 | 第23-26页 |
| 2.1.1 ABAQUS程序概述 | 第24-25页 |
| 2.1.2 ABAQUS模块和分析步骤 | 第25-26页 |
| 2.2 几何模型 | 第26-28页 |
| 2.2.1 压头模型的几何形状 | 第27-28页 |
| 2.2.2 被测试样和基底的几何形状 | 第28页 |
| 2.3 定义材料属性和生成装配件 | 第28-29页 |
| 2.4 定义分析步及接触边界条件 | 第29-31页 |
| 2.5 划分网格 | 第31页 |
| 2.6 生成、运行作业 | 第31页 |
| 2.7 输出结果 | 第31-33页 |
| 2.8 有限元模型验证 | 第33-34页 |
| 第三章 多层结构Ti-Si-N体系模型建立和结果分析 | 第34-57页 |
| 3.1 模型的构建 | 第34-35页 |
| 3.2 氮化硅含量对Ti-Si-N多层薄膜力学性能的影响 | 第35-42页 |
| 3.2.1 应力和应变分析 | 第35-40页 |
| 3.2.2 纳米压痕实验验证和模拟优化 | 第40-42页 |
| 3.3 SiN弹性模量对Ti-Si-N薄膜力学性能的影响 | 第42-49页 |
| 3.3.1 应力和应变分析 | 第43-47页 |
| 3.3.2 载荷-位移曲线分析 | 第47-49页 |
| 3.4 层数对材料Ti-Si-N薄膜力学性能的影响 | 第49-56页 |
| 3.4.1 应力和应变分析 | 第49-55页 |
| 3.4.2 载荷-位移曲线分析 | 第55-56页 |
| 3.5 本章小结 | 第56-57页 |
| 第四章 柱状结构Ti-Si-N体系模型建立和结果分析 | 第57-66页 |
| 4.1 模型的构建 | 第57-58页 |
| 4.2 多列柱状结构对材料力学性能的影响 | 第58-65页 |
| 4.2.1 应力和应变分析 | 第58-63页 |
| 4.2.2 载荷-位移曲线分析 | 第63-65页 |
| 4.3 本章小结 | 第65-66页 |
| 第五章 纳米复合结构Ti-Si-N体系模型建立和结果分析 | 第66-77页 |
| 5.1 模型的构建 | 第66-67页 |
| 5.2 复合结构氮化钛相含量对材料力学性能的影响 | 第67-76页 |
| 5.2.1 应力和应变分析 | 第67-74页 |
| 5.2.2 载荷-位移曲线分析 | 第74-76页 |
| 5.3 本章小结 | 第76-77页 |
| 第六章 结论与展望 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-85页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第85-86页 |
| 致谢 | 第86页 |
