| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 光学系统的像质评价方法综述 | 第9-13页 |
| 1.2 国内外光学传递函数(MTF)检测的发展历史与现状 | 第13-15页 |
| 1.2.1 国内外MTF检测的发展历史 | 第13-14页 |
| 1.2.2 国内外光学传递函数检测的发展现状 | 第14-15页 |
| 1.3 课题来源及研究目的 | 第15-16页 |
| 1.4 本文研究框架 | 第16-19页 |
| 第2章 在线MTF检测中的精密位置检测的实现 | 第19-33页 |
| 2.1 常用的精密位置检测方法原理及其优缺点 | 第19-27页 |
| 2.2 光栅尺精密位置检测技术 | 第27-31页 |
| 2.2.1 光栅尺工作原理 | 第27-28页 |
| 2.2.2 莫尔条纹辨向技术和细分技术 | 第28-31页 |
| 2.3 本章小结 | 第31-33页 |
| 第3章 光栅尺闭环定位控制的在线光学传递函数检测 | 第33-47页 |
| 3.1 在线光学传递函数检测系统中的光栅尺闭环反馈控制方案 | 第33-38页 |
| 3.1.1 现有的在线光学传递函数检测方案 | 第33-36页 |
| 3.1.2 加入光栅尺闭环控制的在线光学传递函数检测方案 | 第36-38页 |
| 3.2 光栅尺闭环位置反馈方案的器件选型以及硬件连接 | 第38-41页 |
| 3.2.1 光栅尺选型 | 第38-39页 |
| 3.2.2 数据采集卡选型 | 第39-41页 |
| 3.2.3 闭环反馈控制系统的硬件连接 | 第41页 |
| 3.3 光栅尺闭环位置反馈方案的精度检测 | 第41-46页 |
| 3.3.1 闭环控制系统的反馈程序 | 第41-44页 |
| 3.3.2 闭环控制系统的精度检测 | 第44-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 基于光栅尺闭环控制的在线MTF检测平台研究 | 第47-67页 |
| 4.1 基于光栅尺闭环控制的在线MTF检测平台重复性和稳定性研究 | 第47-54页 |
| 4.1.1 在线MTF检测平台的重复性研究 | 第47-52页 |
| 4.1.2 在线MTF检测平台的稳定性研究 | 第52-54页 |
| 4.2 基于光栅尺闭环控制的在线MTF检测平台重复性和稳定性对标 | 第54-58页 |
| 4.3 大批量镜头MTF值的离散性研究 | 第58-66页 |
| 4.3.1 不同镜头最大MTF值(max-mtf)离散性研究 | 第59-61页 |
| 4.3.2 不同镜头最大MTF值对应检测平台位置(max mtf position)的离散性研究 | 第61-63页 |
| 4.3.3 不同镜头固定检测位置(20.2mm-mtf)的离散性研究 | 第63-66页 |
| 4.4 本章小结 | 第66-67页 |
| 第5章 总结与展望 | 第67-69页 |
| 5.1 本论文研究工作总结 | 第67-68页 |
| 5.2 工作展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-75页 |
| 作者简历 | 第75页 |
