| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-20页 |
| ·引言 | 第9-11页 |
| ·选题的意义 | 第11页 |
| ·DLC膜的结构及分析方法 | 第11-13页 |
| ·DLC膜的结构 | 第11-13页 |
| ·DLC膜的结构的分析方法 | 第13页 |
| ·DLC膜的制备方法 | 第13-16页 |
| ·物理气相沉积(PVD)技术 | 第13-16页 |
| ·化学气相沉积(CVD)法 | 第16页 |
| ·DLC膜的生长机理 | 第16-17页 |
| ·DLC的性能及其应用 | 第17-18页 |
| ·机械及摩擦学方面的应用 | 第17-18页 |
| ·光学及电学方面的应用 | 第18页 |
| ·生物及医学方面的应用 | 第18页 |
| ·DLC膜在研究中存在的困难及解决思路 | 第18-19页 |
| ·DLC膜与金属基底结合力差的问题 | 第18-19页 |
| ·DLC膜内应力过大的问题 | 第19页 |
| ·论文的研究思路 | 第19-20页 |
| 第二章 直流磁控溅射下沉积条件对DLC膜的影响 | 第20-31页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·实验设备及检测方法 | 第20-22页 |
| ·实验工艺流程 | 第22-24页 |
| ·衬底的预处理 | 第22-23页 |
| ·试验参数的调节 | 第23-24页 |
| ·沉积条件对薄膜结构的影响 | 第24-30页 |
| ·工作气压对DLC薄膜的影响 | 第25-27页 |
| ·溅射功率对DLC薄膜的影响 | 第27-28页 |
| ·衬底偏压对DLC薄膜的影响 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 纳米金刚石复合DLC薄膜的制备及其结构和性能表征 | 第31-42页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·实验过程及性能表征 | 第31-34页 |
| ·结果与讨论 | 第34-41页 |
| ·纳米颗粒复合DLC薄膜的结构 | 第34-38页 |
| ·纳米颗粒复合DLC薄膜的性能 | 第38-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 C_(60)复合DLC薄膜的制备及其结构和性能表征 | 第42-49页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·实验过程及性能表征 | 第42-44页 |
| ·结果与讨论 | 第44-48页 |
| ·C_(60)分子复合DLC薄膜的结构 | 第44-47页 |
| ·C_(60)分子复合DLC薄膜的性能 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第五章 结论 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-60页 |
| 在学期间的研究成果 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61页 |