| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 薄膜材料简介 | 第9-10页 |
| 1.1.1 薄膜材料概述 | 第9页 |
| 1.1.2 薄膜材料的应用 | 第9-10页 |
| 1.1.3 薄膜材料力学性能 | 第10页 |
| 1.2 薄膜材料应力应变关系表征方法 | 第10-14页 |
| 1.2.1 拉伸法 | 第11-12页 |
| 1.2.2 纳米压痕法 | 第12-14页 |
| 1.3 鼓包法 | 第14-16页 |
| 1.4 有限元软件ABAQUS简介 | 第16-18页 |
| 1.5 本文的选题依据与主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第2章 鼓包法表征薄膜应力应变关系的理论模型 | 第20-31页 |
| 2.1 引言 | 第20-21页 |
| 2.2 鼓包法表征薄膜的弹性模量 | 第21-26页 |
| 2.2.1 小挠度方形窗口膜 | 第21-24页 |
| 2.2.2 小挠度圆形窗口膜 | 第24-26页 |
| 2.3 鼓包法表征薄膜屈服强度 | 第26-28页 |
| 2.3.1 小挠度圆形窗口膜的等效应力场 | 第26-28页 |
| 2.3.2 根据膜内等效应力场求薄膜屈服强度 | 第28页 |
| 2.4 鼓包法表征薄膜应变硬化指数 | 第28-30页 |
| 2.5 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 小挠度下表征镍膜的弹性模量和屈服强度 | 第31-42页 |
| 3.1 引言 | 第31页 |
| 3.2 鼓包实验 | 第31-36页 |
| 3.2.1 鼓包实验装置概述 | 第31-33页 |
| 3.2.2 实验样品的制备 | 第33-34页 |
| 3.2.3 鼓包实验过程 | 第34-35页 |
| 3.2.4 实验数据处理 | 第35-36页 |
| 3.3 鼓包实验结果分析 | 第36-41页 |
| 3.3.1 镍膜弹性模量和屈服强度的确定 | 第36-39页 |
| 3.3.2 拉伸实验验证 | 第39-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 鼓包法表征镍膜应变硬化指数 | 第42-51页 |
| 4.1 鼓包实验的有限元模型 | 第42-44页 |
| 4.1.1 三维有限元模型的建立 | 第42-44页 |
| 4.1.2 数据处理流程 | 第44页 |
| 4.2 有限元计算结果及分析 | 第44-48页 |
| 4.2.1 有限元模型的验证 | 第44-47页 |
| 4.2.2 应变硬化指数模拟求解 | 第47-48页 |
| 4.3 基于理论推导和鼓包实验求解镍膜的应变硬化指数 | 第48-49页 |
| 4.4 应力应变曲线 | 第49-50页 |
| 4.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 第5章 总结与展望 | 第51-53页 |
| 5.1 论文总结 | 第51-52页 |
| 5.2 工作展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 附录：个人简历、在校期间发表的学术论文与研究成果 | 第58页 |