首页--工业技术论文--无线电电子学、电信技术论文--光电子技术、激光技术论文--红外技术及仪器论文--红外系统装置论文

InAs基红外薄膜的LPE生长特性研究与器件结构优化探索

致谢第1-5页
摘要第5-7页
ABSTRACT第7-11页
第一章 绪论第11-32页
   ·In As1-x Nx红外材料第11-17页
     ·In As1-x Nx材料特性第11-12页
     ·In As1-x Nx材料研究进展第12-15页
     ·In As1-x Nx器件研究进展第15-16页
     ·In As1-x Nx材料研究中遇到的难题第16-17页
   ·In As1-x Sbx红外材料第17-22页
     ·In As1-x Sbx材料特性第17-19页
     ·In As1-x Sbx材料与器件的研究进展第19-22页
   ·本论文选题背景与创新意义第22-24页
 参考文献第24-32页
第二章 液相外延生长设备改进第32-39页
   ·液相外延(LPE)生长方法介绍第32-33页
   ·液相外延生长设备改进第33-38页
     ·石墨舟的改进第34-35页
     ·精确推舟定位的设计第35页
     ·控制面板和保压系统的设计第35-37页
     ·黄金炉恒温设计第37-38页
   ·石墨舟和石英管的清洗第38页
   ·本章小结第38-39页
第三章 In As1-x Nx薄膜的液相外延生长和性质表征第39-54页
   ·In As1-x Nx薄膜液相外延生长参数优化第39-41页
   ·In As1-x Nx薄膜的液相外延生长第41-43页
   ·In As1-x Nx薄膜的性质表征第43-49页
     ·高分辨X射线衍射谱(HRXRD)第43-45页
     ·In As1-x Nx薄膜的形貌表征第45-47页
     ·In As1-x Nx薄膜的拉曼光谱第47-48页
     ·In As1-x Nx薄膜的红外透射光谱第48-49页
   ·In As1-x Nx薄膜的能隙蓝移与分析第49-52页
   ·本章小结第52-53页
 参考文献第53-54页
第四章 In As1-x Sbx薄膜的液相外延生长和性质表征第54-73页
   ·In As1-x Sbx薄膜的液相外延生长第54-56页
     ·熔源配比计算第54-55页
     ·In As1-x Sbx薄膜的液相外延生长第55-56页
   ·In As1-x Sbx薄膜的性质表征第56-70页
     ·In As1-x Sbx薄膜的结构性质表征第57-60页
     ·In As1-x Sbx薄膜的光学性质表征第60-62页
     ·In As1-x Sbx薄膜的椭圆偏振光谱研究第62-67页
     ·In As1-x Sbx薄膜的位错研究第67-70页
   ·本章小结第70-71页
 参考文献第71-73页
第五章 In As_(1-x) Sbx材料的纯化与性质表征第73-90页
   ·、纯化方法介绍第73-74页
   ·In As0.94Sb0.06薄膜电学性质的表征方法第74-79页
     ·pn结方法第75-76页
     ·化学机械抛光方法第76-77页
     ·电学测试方法介绍第77-79页
   ·n-In As0.94Sb0.06/p-In As型样品性质表征第79-80页
   ·In As0.94Sb0.06抛薄样品的性质表征第80-87页
     ·In As0.94Sb0.06抛薄样品的电学性质表征第80-82页
     ·In As0.94Sb0.06抛薄样品的光学性质表征第82-87页
   ·本章小结第87-88页
 参考文献第88-90页
第六章 In As Sb基p Bin型红外探测器的LPE生长与性能表征第90-107页
   ·In As Sb基红外探测器器件结构优化第90-97页
     ·缓冲层设计第90-92页
     ·In As1-x-y Sbx Py势垒层设计第92页
     ·In As0.87Sb0.13吸收层厚度优化第92-96页
     ·In As Sb基p Bin器件结构第96-97页
   ·In As Sb基p Bin器件结构的LPE生长第97页
   ·In As Sb基p Bin结构各组元性质表征第97-102页
     ·器件结构中各组元的组分确定第97-99页
     ·器件结构截面形貌第99-100页
     ·器件结构各组元中的位错第100-101页
     ·外延薄膜的光学能隙第101-102页
   ·器件性能表征第102-105页
     ·二极管的电流-电压特性第103-104页
     ·二极管的光电流响应特性第104-105页
   ·本章小结第105-106页
 参考文献第106-107页
第七章 总结和展望第107-109页
   ·研究工作总结第107-108页
   ·进一步研究工作展望第108-109页
作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果第109-110页

论文共110页,点击 下载论文
上一篇:碲镉汞红外光伏探测器电学性能表征技术研究
下一篇:基于无序结构及重掺杂半导体超材料吸收体的研究