| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-21页 |
| ·反铁电材料概述 | 第8-9页 |
| ·PbZrO_3反铁电材料基本性质 | 第9-11页 |
| ·PbZrO_3基反铁电体薄膜晶体结构 | 第9-10页 |
| ·电容非线性 | 第10-11页 |
| ·PbZrO_3基反铁电薄膜材料的储能性质 | 第11-13页 |
| ·提高反铁电材料储能性能的途径 | 第13页 |
| ·反铁电材料及PbZrO_3基反铁电薄膜的研究现状 | 第13-18页 |
| ·本论文的研究意义及选题内容 | 第18-21页 |
| 第二章 实验工艺设计 | 第21-31页 |
| ·反铁电薄膜的制备方法 | 第21-23页 |
| ·溅射法 | 第21页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第21-22页 |
| ·化学气相沉积法 | 第22页 |
| ·化学溶液沉积法 | 第22-23页 |
| ·PPrZ反铁电薄膜的物相、形貌及晶格振动分析 | 第23-26页 |
| ·X射线衍射分析 | 第23-24页 |
| ·SEM形貌分析 | 第24-25页 |
| ·PPrZ薄膜晶格振动特性拉曼光谱分析 | 第25-26页 |
| ·PPrZ反铁电薄膜的储能性能测试 | 第26-30页 |
| ·PPrZ反铁电薄膜的原子力性能测试 | 第26-28页 |
| ·PPrZ反铁电薄膜的电滞回线测试 | 第28页 |
| ·PPrZ反铁电薄膜的介电性能测试 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 锆酸铅薄膜电容器的制备 | 第31-41页 |
| ·掺杂Pr~(3+)离子的锆酸铅溶液配制 | 第31-34页 |
| ·实验环境搭建及实验仪器 | 第31-33页 |
| ·掺杂Pr~(3+)离子的锆酸铅溶液制备工艺流程 | 第33-34页 |
| ·锆酸铅薄膜电容器制备 | 第34-38页 |
| ·锆酸铅薄膜电容器的结构模型设计 | 第34-35页 |
| ·锆酸铅薄膜的制备需要实验仪器简介 | 第35-37页 |
| ·衬底的制备与处理 | 第37页 |
| ·锆酸铅薄膜电容器的制备工艺流程 | 第37-38页 |
| ·锆酸铅薄膜电容器电极制备 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 锆酸铅反铁电薄膜电容器介电性能测试平台搭建 | 第41-48页 |
| ·锆酸铅反铁电薄膜电容器介电损耗测量上位机搭建 | 第41-44页 |
| ·不同频率下锆酸铅薄膜电容器介电频谱数据采集 | 第44-45页 |
| ·不同直流偏压下锆酸铅薄膜电容器介电频谱数据采集 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 锆酸铅薄膜电容器储电性能及应用研究 | 第48-63页 |
| ·影响锆酸铅薄膜电容器储能性能的因素 | 第48-49页 |
| ·样品厚度 | 第48页 |
| ·显微结构 | 第48-49页 |
| ·界面极化 | 第49页 |
| ·锆酸铅薄膜电容器储能性能的测量及分析 | 第49-52页 |
| ·锆酸铅薄膜电容器原子力图的测量与分析 | 第49页 |
| ·锆酸铅薄膜电容器介电性能的测量与分析 | 第49-51页 |
| ·锆酸铅薄膜电容器电滞回线的测量与分析 | 第51-52页 |
| ·掺杂离子与未掺杂离子的锆酸铅薄膜电容器电学性能对比与分析 | 第52-55页 |
| ·电容器介电性能的测量与分析 | 第52页 |
| ·电容器电滞回线的测量与分析 | 第52-53页 |
| ·电容器X-射线衍射图谱的测量与分析 | 第53-54页 |
| ·电容器储能性能密度的测量与分析 | 第54-55页 |
| ·掺杂不同浓度的Pr~(3+)离子锆酸铅薄膜电容器的储能性能的测量与分析 | 第55-57页 |
| ·电容器介电性能的测量与分析 | 第55-56页 |
| ·电容器电滞回线的测量与分析 | 第56-57页 |
| ·新型储能电容器的应用 | 第57-61页 |
| ·在军事方面的应用 | 第57-58页 |
| ·在混合动力车辆上的应用 | 第58-59页 |
| ·生物医学上的应用 | 第59-60页 |
| ·在物联网底层传感网节点上的应用 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-63页 |
| 第六章 总结与展望 | 第63-65页 |
| ·总结 | 第63页 |
| ·展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
