PT/PZT多层组合薄膜的制备及电学性能研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-21页 |
| ·课题研究背景 | 第8-9页 |
| ·热释电材料的性质及分类 | 第9-15页 |
| ·单晶材料 | 第10-11页 |
| ·铁电陶瓷 | 第11-13页 |
| ·高分子有机材料 | 第13-14页 |
| ·铁电薄膜 | 第14-15页 |
| ·PZT薄膜的应用及制备现状 | 第15-20页 |
| ·PZT薄膜的应用 | 第15-16页 |
| ·PZT薄膜的制备方法与研究现状 | 第16-20页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 2 PT/PZT薄膜的制备及工艺研究 | 第21-31页 |
| ·SOL-GEL法制备薄膜的基本原理 | 第21-22页 |
| ·试验原料与试验设备 | 第22-23页 |
| ·试验原料 | 第22-23页 |
| ·试验设备 | 第23页 |
| ·PT/PZT多层组合薄膜的制备流程 | 第23-26页 |
| ·样品的制备 | 第26-30页 |
| ·PT、PZT溶胶的配置 | 第26-27页 |
| ·衬底与电极材料的选取 | 第27-28页 |
| ·基片的清洗 | 第28-29页 |
| ·匀胶、涂膜 | 第29页 |
| ·薄膜的热处理 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 3 PT/PZT多层组合薄膜的表面形貌与结构性能 | 第31-43页 |
| ·多层组合薄膜纳米结构的研究 | 第32-37页 |
| ·不同结构的多层组合薄膜的纳米结构研究 | 第32-34页 |
| ·不同退火时间的多层组合包膜的纳米结构研究 | 第34-37页 |
| ·多层组合薄膜拉曼特性研究 | 第37-40页 |
| ·多层组合薄膜的XRD分析 | 第40-42页 |
| ·不同结构的多层组合薄膜的XRD分析 | 第40-41页 |
| ·不同退火时间的多层组合薄膜的XRD分析 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 4 PT/PZT多层组合薄膜的电学性能测试分析 | 第43-55页 |
| ·上电极的制备 | 第43-44页 |
| ·不同结构多层组合薄膜的介电性能测试 | 第44-47页 |
| ·多层组合薄膜的C-V曲线分析 | 第47-48页 |
| ·多层组合薄膜的铁电曲线分析 | 第48-53页 |
| ·多层组合薄膜的红外性能测试 | 第53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 5 结论与展望 | 第55-58页 |
| ·本文研究工作 | 第55-57页 |
| ·创新点 | 第57页 |
| ·工作展望 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-65页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
