差分型MEMS矢量水听器的研制
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1. 绪论 | 第8-13页 |
| ·课题的研究背景和意义 | 第8页 |
| ·国内外研究现状 | 第8-11页 |
| ·本课题主要研究内容 | 第11-13页 |
| 2. 差分型矢量水听器的设计 | 第13-26页 |
| ·矢量水听器理论基础 | 第13-16页 |
| ·水声传播理论基础 | 第13-14页 |
| ·水声接收理论基础 | 第14-16页 |
| ·水听器性能指标 | 第16-18页 |
| ·水听器结构设计方案 | 第18-22页 |
| ·水听器信号检测设计方案 | 第22-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 3. 差分型矢量水听器力学建模与分析 | 第26-48页 |
| ·水听器敏感微结构静力学特性分析 | 第26-33页 |
| ·敏感微结构静力学模型建立 | 第26-30页 |
| ·敏感微结构静力学模型有限元验证 | 第30-33页 |
| ·水听器敏感微结构频率特性分析 | 第33-46页 |
| ·敏感微结构单自由度等效模型建立 | 第34-37页 |
| ·敏感微结构频率特性有限元验证 | 第37-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 4. 差分型矢量水听器关键加工工艺 | 第48-59页 |
| ·十字支撑结构的加工制作 | 第48-52页 |
| ·芯片封装与仿生纤毛二次集成 | 第52-56页 |
| ·芯片的电气封装 | 第52页 |
| ·纤毛的二次集成 | 第52-56页 |
| ·水听器声学封装 | 第56-58页 |
| ·透声封装设计 | 第56-57页 |
| ·阻声封装设计 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 5. 差分型矢量水听器性能测试 | 第59-69页 |
| ·水听器声学特性测试 | 第59-63页 |
| ·水听器工作频带与灵敏度 | 第59-62页 |
| ·水听器指向性 | 第62-63页 |
| ·水听器加速度特性测试 | 第63-65页 |
| ·水听器样机性能验证 | 第65-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 6. 总结与展望 | 第69-72页 |
| ·工作总结 | 第69-70页 |
| ·论文创新点 | 第70页 |
| ·工作展望 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
