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PVDF压电薄膜及其传感器的制备与性能研究

摘要第1-5页
Abstract第5-8页
第1章 绪论第8-17页
   ·课题背景第8页
   ·PVDF压电薄膜概述第8-12页
     ·压电材料和压电效应第9-10页
     ·PVDF的晶体结构第10-12页
   ·PVDF压电薄膜的研究现状第12-16页
     ·PVDF薄膜的制备及性能研究第12-13页
     ·PVDF压电薄膜的应用第13-16页
   ·已有的研究中存在的问题第16页
   ·论文主要工作内容第16-17页
第2章 PVDF压电薄膜的制备第17-40页
   ·引言第17页
   ·实验材料及设备第17-18页
   ·PVDF薄膜的流延制备第18-21页
     ·制备过程第18-19页
     ·制备影响因素第19-21页
   ·PVDF薄膜的拉伸第21-25页
     ·拉伸过程第21页
     ·拉伸影响因素第21-25页
   ·PVDF薄膜的极化第25-32页
     ·极化原理第25-27页
     ·热极化法步骤第27-28页
     ·热极化法影响因素第28-32页
   ·PVDF薄膜的表征第32-39页
     ·扫描电子显微镜(SEM)第32-34页
     ·差示扫描量热法(DSC)第34-36页
     ·广角X-射线衍射测试(XRD)第36-37页
     ·压电性能测试第37-38页
     ·介电性能测试第38-39页
   ·本章小结第39-40页
第3章 PVDF压电薄膜的封装及传感器制作第40-49页
   ·引言第40页
   ·电极涂覆第40-43页
     ·磁控溅射第40-43页
   ·PVDF压电薄膜的封装第43-48页
     ·边缘处理第43-44页
     ·引线导出第44-45页
     ·加保护层第45-46页
     ·电磁屏蔽第46-48页
   ·PVDF压电传感器的性能指标第48页
   ·本章小结第48-49页
第4章 PVDF压电传感器动态性能实验研究第49-64页
   ·引言第49页
   ·PVDF压电薄膜的工作原理第49-51页
   ·PVDF传感器等效模型第51-53页
   ·PVDF动态实验系统的建立第53-55页
     ·实验系统第53-54页
     ·实验仪器第54-55页
   ·PVDF动态实验及数据分析第55-62页
     ·实验概况第55页
     ·结果及数据分析第55-62页
   ·本章小结第62-64页
结论第64-65页
参考文献第65-70页
致谢第70页

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