| 第一章 绪论 | 第1-21页 |
| 第一节 MEMS及MOEMS技术介绍 | 第5-9页 |
| 第二节 具有微腔结构的器件的应用 | 第9-17页 |
| 第三节 本课题的研究目的研究内容 | 第17-19页 |
| 参考文献 | 第19-21页 |
| 第二章 可调谐阵列滤光片的初始设计 | 第21-37页 |
| 第一节 器件工作原理 | 第21-23页 |
| 第二节 器件的薄膜光学设计 | 第23-28页 |
| 第三节 滤光片的电力学分析及结构设计 | 第28-36页 |
| 参考文献 | 第36-37页 |
| 第三章 可调谐滤光片性能的数值分析 | 第37-48页 |
| 第一节 微机构滤光片调谐的有限元分析 | 第37-40页 |
| 第二节 薄膜长宽比对光学特性的影响 | 第40-44页 |
| 第三节 器件的电压调谐性能 | 第44-45页 |
| 第四节 微机构可调谐滤光片的输出光谱 | 第45-47页 |
| 参考文献 | 第47-48页 |
| 第四章 微机构可调谐滤光片的制造 | 第48-66页 |
| 第一节 MEMS加工制造工艺的介绍 | 第48-52页 |
| 第二节 微机构可调谐滤光片的制造 | 第52-60页 |
| 第三节 粘连效应及解决办法 | 第60-65页 |
| 参考文献 | 第65-66页 |
| 第五章 总结与展望 | 第66-68页 |
| 硕士期间完成的论文 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |