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碱性含氟液对太阳电池用单晶硅的腐蚀机理研究

摘要第1-7页
Abstract第7-13页
第一章 绪论第13-23页
   ·太阳能产业的发展第13-17页
     ·历史回顾第13-14页
     ·太阳能产业的发展现状第14-16页
     ·我国太阳能电池产业发展现状第16-17页
   ·晶体硅太阳能电池制备技术发展现状第17-19页
   ·硅太阳电池表面陷光技术的发展概况第19-20页
   ·本论文的研究意义第20-21页
   ·本论文的主要研究内容第21-23页
第二章 绒面制备实验及测试第23-38页
   ·实验原理第23-29页
     ·碱腐蚀理论第23-27页
     ·酸腐蚀理论第27-29页
   ·实验过程第29-38页
     ·实验材料第29页
     ·样品预处理第29-32页
     ·腐蚀实验第32-35页
     ·样品测试第35-38页
第三章 实验结果分析及理论探讨第38-90页
   ·表形貌(SEM)分析第38-47页
     ·几种腐蚀液腐蚀后的表形貌比较第38-44页
     ·表形貌的形成过程第44-47页
   ·反射率结果分析第47-54页
     ·影响反射率的主要因素第48-50页
     ·实验结果分析第50-54页
   ·腐蚀速率结果分析第54-64页
     ·反应速率理论第54-55页
     ·碱腐蚀速率的主要影响因素第55-58页
     ·酸腐蚀速率的主要影响因素第58-59页
     ·实验结果分析第59-64页
   ·拉曼光谱分析第64-72页
     ·拉曼光谱技术第64-66页
     ·本文研究体系中可能存在的物质拉曼特性第66-67页
     ·实验结果分析第67-72页
   ·腐蚀-聚合机理第72-82页
   ·现象解释第82-88页
     ·腐蚀-聚合理论解释本文实验现象第82-84页
     ·腐蚀-聚合理论解释其它碱腐蚀体系的现象第84-87页
     ·碱性含氟体系与HF体系的比较第87-88页
   ·本章小结第88-90页
第四章 腐蚀-聚合模型第90-109页
   ·腐蚀模型概述第90-93页
     ·典型表面(100)、(110)和(111)结构第90-91页
     ·晶向与H悬挂第91-92页
     ·HF溶液中(100)、(110)和(111)的腐蚀模型第92-93页
   ·腐蚀-聚合模型第93-107页
     ·金字塔的形成第94-96页
     ·(111)条状小丘的形成第96-100页
     ·掩膜c下六面小丘的形成第100-101页
     ·中途形成氧化硅对金字塔的影响第101-106页
     ·(110)金字塔的形成第106-107页
   ·本章小结第107-109页
第五章 结论与展望第109-112页
   ·结论第109-110页
   ·创新点第110-111页
   ·展望第111-112页
致谢第112-113页
参考文献第113-123页
博士阶段所做工作和论文发表情况第123页

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