摇摆质量微陀螺关键技术研究
| 表目录 | 第1-8页 |
| 图目录 | 第8-12页 |
| 摘要 | 第12-14页 |
| Abstract | 第14-16页 |
| 第一章 绪论 | 第16-30页 |
| ·论文研究的背景及意义 | 第16-17页 |
| ·国外轴对称谐振微陀螺研究综述 | 第17-25页 |
| ·轴对称谐振微陀螺研究综述 | 第18-21页 |
| ·傅科摆谐振微陀螺研究综述 | 第21-25页 |
| ·国内轴对称谐振微陀螺研究综述 | 第25-28页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第28-30页 |
| 第二章 摇摆质量微陀螺的结构设计理论 | 第30-54页 |
| ·微陀螺的总体结构与工作原理 | 第30-34页 |
| ·微陀螺的总体结构设计 | 第30-32页 |
| ·微陀螺的工作原理 | 第32-34页 |
| ·与摇摆质量陀螺的研究现状比较 | 第34页 |
| ·微陀螺的力学特性分析 | 第34-39页 |
| ·谐振梁的弯-扭耦合振动解耦分析 | 第34-36页 |
| ·谐振梁的扭转刚度分析 | 第36页 |
| ·谐振梁的弯曲刚度分析 | 第36-37页 |
| ·微陀螺工作模态固有频率的解析模型 | 第37-39页 |
| ·微陀螺的电学特性分析 | 第39-47页 |
| ·驱动模态接口电容 | 第42-43页 |
| ·驱动力矩——吸合效应 | 第43-45页 |
| ·检测模态接口电容 | 第45-46页 |
| ·反馈力矩 | 第46-47页 |
| ·微陀螺工作模态固有频率的参数化分析 | 第47-53页 |
| ·微陀螺工作模态固有频率的解析公式 | 第48-50页 |
| ·微陀螺工作模态固有频率的参数化分析 | 第50-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第三章 摇摆质量微陀螺的能量损耗机理 | 第54-84页 |
| ·空气阻尼损耗 | 第54-64页 |
| ·大气条件下微陀螺的压膜阻尼损耗 | 第54-58页 |
| ·真空封装微陀螺的压膜阻尼损耗 | 第58-64页 |
| ·支撑损耗 | 第64-70页 |
| ·微陀螺的支撑损耗机理 | 第64-66页 |
| ·微陀螺的振动能量分析 | 第66-68页 |
| ·微陀螺的支撑损耗预测 | 第68-70页 |
| ·热弹性阻尼损耗 | 第70-74页 |
| ·热弹性阻尼损耗机理 | 第70-71页 |
| ·Zener 线性粘弹性体标准模型 | 第71-72页 |
| ·微陀螺的热弹性阻尼损耗预测 | 第72-74页 |
| ·其它能量损耗机理分析 | 第74-79页 |
| ·微陀螺的基底能量损耗 | 第74-77页 |
| ·微陀螺的表面能量损耗 | 第77-79页 |
| ·摇摆质量微陀螺的品质因子 | 第79-82页 |
| ·微陀螺的品质因子分析 | 第79-81页 |
| ·微陀螺的高 Q 值设计方法 | 第81-82页 |
| ·本章小结 | 第82-84页 |
| 第四章 摇摆质量微陀螺的动态特性分析 | 第84-106页 |
| ·微陀螺的动力学建模 | 第84-89页 |
| ·哥氏效应 | 第84-85页 |
| ·一般线振动微陀螺的动力学模型 | 第85-87页 |
| ·摇摆质量微陀螺的动力学方程 | 第87-89页 |
| ·微陀螺的动力学响应 | 第89-94页 |
| ·驱动系统的稳态响应 | 第89-91页 |
| ·检测系统常值角速度的稳态响应 | 第91-93页 |
| ·检测系统谐变角速度的位移解 | 第93-94页 |
| ·微陀螺的结构灵敏度分析 | 第94-101页 |
| ·微陀螺结构灵敏度的解析模型 | 第94-96页 |
| ·微陀螺结构灵敏度的参数化分析 | 第96-99页 |
| ·微陀螺结构灵敏度增强的相关分析 | 第99-101页 |
| ·微陀螺结构参数的确定 | 第101-105页 |
| ·微陀螺结构参数的确定 | 第101-104页 |
| ·有限元仿真结果 | 第104-105页 |
| ·本章小结 | 第105-106页 |
| 第五章 摇摆质量微陀螺的加工工艺 | 第106-123页 |
| ·基本工艺流程 | 第106-107页 |
| ·硅微结构的加工工艺 | 第107-114页 |
| ·二次掩膜湿法腐蚀工艺 | 第108-110页 |
| ·预埋掩膜湿法腐蚀工艺 | 第110-111页 |
| ·腐蚀工艺参数的测定及补偿 | 第111-114页 |
| ·玻璃基板及其它部件的加工工艺 | 第114-119页 |
| ·玻璃基板的湿法刻蚀 | 第114-116页 |
| ·铝电极与通孔的加工 | 第116-117页 |
| ·质量棒与支撑装置的设计与加工 | 第117-119页 |
| ·微陀螺样机的装配与封装 | 第119-121页 |
| ·微陀螺样机的装配工艺 | 第120-121页 |
| ·微陀螺样机的真空封装 | 第121页 |
| ·本章小结 | 第121-123页 |
| 第六章 摇摆质量微陀螺的原理样机验证 | 第123-131页 |
| ·微陀螺驱动控制与角速度检测 | 第123-126页 |
| ·微陀螺驱动控制方法 | 第124-125页 |
| ·微陀螺角速度检测方法 | 第125-126页 |
| ·微陀螺样机的模态测试 | 第126-128页 |
| ·微陀螺样机的哥氏力信号测试 | 第128-130页 |
| ·本章小结 | 第130-131页 |
| 第七章 结论与展望 | 第131-134页 |
| ·全文总结 | 第131-132页 |
| ·研究展望 | 第132-134页 |
| 致谢 | 第134-136页 |
| 参考文献 | 第136-145页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第145-146页 |
