微型质谱仪电子源及分析器的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| ·课题研究背景和意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究进展 | 第10-17页 |
| ·本文研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 微等离子体源的实验制作 | 第19-28页 |
| ·等离子体放电理论 | 第19-21页 |
| ·高频板结构设计 | 第21-23页 |
| ·氩气微波放电实验 | 第23-27页 |
| ·实验装置简介 | 第23-25页 |
| ·放电现象分析 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 等离子体电子源的参数诊断 | 第28-38页 |
| ·等离子体诊断方法概述 | 第28-31页 |
| ·朗缪尔探针法 | 第28-30页 |
| ·发射光谱法 | 第30-31页 |
| ·等离子体光谱诊断 | 第31-35页 |
| ·光谱诊断原理 | 第31-33页 |
| ·光谱测试及分析 | 第33-35页 |
| ·COMSOL等离子体模拟 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 电子源芯片的研究 | 第38-47页 |
| ·电子源芯片设计 | 第38-41页 |
| ·芯片结构设计 | 第38-39页 |
| ·电子引出模拟 | 第39-41页 |
| ·电子源芯片制作 | 第41-45页 |
| ·电子源芯片实验 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第5章 质谱分析器的模拟设计 | 第47-57页 |
| ·离子透镜模拟 | 第47-48页 |
| ·质量分析器模拟 | 第48-53页 |
| ·十对电极的分析器 | 第49-50页 |
| ·十二对电极的分析器 | 第50-51页 |
| ·二十对电极的分析器 | 第51-53页 |
| ·能量分析器模拟 | 第53-54页 |
| ·质谱整体模拟 | 第54-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第6章 总结与展望 | 第57-58页 |
| ·本文工作总结 | 第57页 |
| ·将来工作展望 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 致谢 | 第61页 |
