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太阳电池吸收层CuInS2与窗口层ZnO薄膜的制备与性能研究

摘要第1-5页
Abstract第5-9页
1 绪论第9-24页
   ·引言第9-12页
     ·光伏转换原理第10页
     ·光伏电池的现状第10-12页
   ·薄膜太阳能电池第12-17页
     ·太阳电池薄膜化技术第12-13页
     ·CuInSe_2薄膜第13-14页
     ·Cu(In,Ga)Se_2薄膜第14-15页
     ·CuInS_2薄膜第15-16页
     ·异质结太阳电池第16-17页
   ·ZnO纳米薄膜的特性及合成方法第17-21页
     ·ZnO纳米薄膜的特性第17-18页
     ·ZnO纳米薄膜的制备方法第18-20页
     ·ZnO纳米薄膜的可控生长第20-21页
   ·选题的目的及研究内容第21-24页
2 实验设计第24-29页
   ·薄膜制备工艺设计第24-28页
     ·器件结构的选择第24-25页
     ·CuInS_2制备设备第25-26页
     ·CuInS_2实验原材料第26页
     ·Mo背电极的制备第26-27页
     ·CuInS_2的制备工艺第27-28页
   ·性能表征第28-29页
     ·X射线衍射(XRD)分析第28页
     ·薄膜表面形貌分析第28页
     ·激光Raman光谱分析第28页
     ·紫外可见光谱(UV-vis spectrum)第28-29页
3 CuInS_2吸收层的表征第29-41页
   ·硫化温度对CuInS_2薄膜性能的影响第29-33页
     ·硫化温度对CuInS_2薄膜表面形貌的影响第29-30页
     ·硫化温度对CuInS_2晶相结构的影响第30-31页
     ·硫化温度对CuInS_2光学性质的影响第31-33页
   ·硫化压力对CuInS_2薄膜性能的影响第33-35页
     ·硫化压力对CuInS_2晶相结构的影响第33-34页
     ·硫化压力对CuInS_2表面形貌的影响第34-35页
   ·硫化时间对CuInS_2薄膜性能的影响第35-39页
     ·硫化时间对薄膜表面的影响第35-37页
     ·硫化时间对薄膜晶相结构的影响第37页
     ·硫化时间对薄膜光学性质的影响第37-39页
   ·小结第39-41页
4 ZnO纳米阵列薄膜窗口层的制备第41-56页
   ·ZnO纳米阵列的制备第41-43页
     ·制备ZnO薄膜的设备及化学试剂第41-42页
     ·制备ZnO薄膜的工艺流程第42-43页
     ·ZnO薄膜的反应机理第43页
   ·性能表征第43-55页
     ·不同籽晶层的结构分析第43-45页
     ·籽晶对ZnO纳米薄膜表面形貌的影响第45-47页
     ·籽晶对ZnO纳米薄膜结构的影响第47-48页
     ·生长时间对ZnO纳米薄膜的影响第48-50页
     ·溶液浓度对ZnO纳米薄膜的影响第50-52页
     ·聚乙烯亚胺对ZnO纳米薄膜表面形貌的影响第52-53页
     ·Al源掺入对ZnO薄膜性能影响第53-55页
   ·小结第55-56页
5 结论第56-57页
参考文献第57-62页
致谢第62-63页
研究生期间发表的论文第63页

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