| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-24页 |
| ·光伏发电是促进社会发展的最佳能源形式 | 第8-9页 |
| ·太阳能电池种类和原理 | 第9-12页 |
| ·太阳能电池种类 | 第9-11页 |
| ·太阳能电池的原理 | 第11-12页 |
| ·非晶硅薄膜 | 第12-19页 |
| ·非晶硅薄膜的结构特点 | 第12-13页 |
| ·非晶硅薄膜材料的电学性能 | 第13-14页 |
| ·本征a-Si:H的光学特点 | 第14-16页 |
| ·光致衰减效应(Staebler-Wronski Effect) | 第16-17页 |
| ·非晶硅薄膜制备方法 | 第17-19页 |
| ·非晶硅薄膜太阳能电池 | 第19-23页 |
| ·非晶硅薄膜太阳能电池结构 | 第19-21页 |
| ·非晶硅薄膜太阳能电池的优势和劣势 | 第21-23页 |
| ·选题的目的及研究内容 | 第23-24页 |
| 2 实验设计 | 第24-27页 |
| ·非晶硅薄膜的沉积工艺流程 | 第24-25页 |
| ·玻璃基片的清洗 | 第24页 |
| ·非晶硅薄膜制备流程 | 第24-25页 |
| ·非晶硅薄膜性能表征 | 第25-27页 |
| ·非晶硅薄膜光学性能测试 | 第25页 |
| ·非晶硅薄膜暗电导率测试 | 第25-26页 |
| ·非晶硅薄膜激光拉曼(Raman)分析 | 第26页 |
| ·非晶硅X射线衍射(XRD)分析 | 第26页 |
| ·非晶硅薄膜表面形貌分析 | 第26-27页 |
| 3 磷掺杂对a-Si:H薄膜结构及光电性能的影响 | 第27-37页 |
| ·磷掺杂对薄膜微结构的影响 | 第27-30页 |
| ·XRD衍射分析 | 第27-28页 |
| ·拉曼散射光谱表征 | 第28-30页 |
| ·磷掺杂对非晶硅薄膜光学性能的影响 | 第30-33页 |
| ·磷掺杂对非晶硅薄膜透过率的影响 | 第30页 |
| ·磷掺杂对非晶硅薄膜折射率的影响 | 第30-32页 |
| ·磷掺杂对非晶硅薄消光系数的影响 | 第32-33页 |
| ·磷掺杂对非晶硅薄膜电导率的影响 | 第33-34页 |
| ·磷掺杂对非晶硅薄膜表面形貌的影响 | 第34-35页 |
| ·小结 | 第35-37页 |
| 4 辉光功率对n型a-Si:H薄膜结构及光电性能的影响 | 第37-45页 |
| ·辉光功率对n型非晶硅薄膜微结构的影响 | 第37-40页 |
| ·XRD表征 | 第37-38页 |
| ·Rama散射光谱表征 | 第38-40页 |
| ·辉光功率对n型非晶硅薄膜光学性能的影响 | 第40-41页 |
| ·辉光功率对n型非晶硅薄膜透过率的影响 | 第40页 |
| ·辉光功率对n型非晶硅薄膜折射率的影响 | 第40-41页 |
| ·辉光功率对n型非晶硅薄膜电学性能的影响 | 第41-43页 |
| ·不同辉光功率下n型非晶硅薄膜表面形貌 | 第43-44页 |
| ·小结 | 第44-45页 |
| 5 衬底温度对n型a-Si:H薄膜结构及光电性能的影响 | 第45-50页 |
| ·基底温度对n型非晶硅薄膜微结构的影响 | 第45-47页 |
| ·XRD表征 | 第45-46页 |
| ·Raman散射光谱表征 | 第46-47页 |
| ·衬底温度对n型非晶硅薄膜透过率的影响 | 第47-48页 |
| ·衬底温度对n型非晶硅薄膜电学性能的影响 | 第48-49页 |
| ·n型非晶硅薄膜的表面形貌 | 第49页 |
| ·小结 | 第49-50页 |
| 6 结论 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-55页 |
| 研究生期间发表的论文 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56页 |
