| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪言 | 第8-12页 |
| ·研究背景 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-10页 |
| ·研究目的及方法 | 第10-11页 |
| ·本文内容 | 第11-12页 |
| 2 液滴锡靶发生器的理论分析 | 第12-22页 |
| ·极紫外锡靶的理论基础 | 第12页 |
| ·射流断裂理论 | 第12-15页 |
| ·数值模拟的方法 | 第15-20页 |
| ·理论与实验的关系 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 3 液滴锡靶的模拟仿真 | 第22-28页 |
| ·数值模拟的思路 | 第22页 |
| ·建立仿真模型 | 第22-23页 |
| ·验证仿真模型 | 第23页 |
| ·仿真的一些结果 | 第23-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 4 液滴锡靶发生器的实验研究 | 第28-53页 |
| ·实验装置构建 | 第28-29页 |
| ·主要器件的选型与测试 | 第29-47页 |
| ·液滴锡靶发生器的调试 | 第47-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 5 总结 | 第53-55页 |
| ·目前结果的分析 | 第53页 |
| ·未来改进的建议 | 第53-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-58页 |