| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-21页 |
| ·课题的研究背景 | 第10-11页 |
| ·超磁致伸缩薄膜的研究与应用 | 第11-14页 |
| ·超磁致伸缩薄膜的概述 | 第11-12页 |
| ·超磁致伸缩薄膜微器件的研究与应用现状 | 第12-14页 |
| ·微型气体传感器的研究现状和展望 | 第14-19页 |
| ·微型气体传感器的研究现状 | 第15-18页 |
| ·微型气体传感器的发展趋势 | 第18-19页 |
| ·课题的研究意义和内容 | 第19-21页 |
| ·课题的研究意义 | 第19页 |
| ·课题的主要研究内容 | 第19-21页 |
| 2 超磁致伸缩薄膜的特性及制备工艺 | 第21-32页 |
| ·磁致伸缩现象的微观机理 | 第21-22页 |
| ·超磁致伸缩薄膜材料的特性 | 第22-26页 |
| ·磁致伸缩特性 | 第22-23页 |
| ·GMF的磁各向异性 | 第23-25页 |
| ·GMF的动态特性 | 第25页 |
| ·GMF的ΔE效应 | 第25-26页 |
| ·超磁致伸缩薄膜的样品制备及性能检测 | 第26-30页 |
| ·GMF的制备 | 第26-28页 |
| ·GMF的性能检测 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-32页 |
| 3 超磁致伸缩薄膜磁机耦合特性测试系统及气敏涂层的研究 | 第32-48页 |
| ·薄膜磁机耦合特性检测装置的总体结构设计 | 第32-33页 |
| ·驱动线圈的优化设计 | 第33-44页 |
| ·空心圆柱线圈的设计方法 | 第33-34页 |
| ·赫姆霍兹线圈的功率优化和形状选择 | 第34-36页 |
| ·赫姆霍兹线圈的尺寸设计 | 第36-41页 |
| ·驱动磁场均匀度的有限元仿真分析与实验 | 第41-44页 |
| ·气敏涂层的制备 | 第44-47页 |
| ·SnO_2溶胶的制备 | 第44-45页 |
| ·SnO_2气敏涂层的制备 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 4 具有气敏涂层的超磁致伸缩薄膜静态磁机耦合模型及实验研究 | 第48-57页 |
| ·超磁致伸缩薄膜低磁场磁机耦合分析 | 第48页 |
| ·具有气敏涂层的超磁致伸缩薄膜低磁场下准静态磁机耦合模型 | 第48-51页 |
| ·超磁致伸缩等效载荷 | 第49-50页 |
| ·具有气敏涂层的GMF几何变形方程 | 第50页 |
| ·具有气敏涂层的GMF应力应变 | 第50页 |
| ·力平衡方程 | 第50-51页 |
| ·具有气敏涂层的超磁致伸缩薄膜静态实验及结果分析 | 第51-56页 |
| ·实验参数和测量装置 | 第52页 |
| ·实验设计与结果分析 | 第52-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 5 具有气敏涂层的超磁致伸缩薄膜动态特性及其在乙醇气体检测中的应用 | 第57-72页 |
| ·具有气敏涂层的超磁致伸缩薄膜悬臂梁的振动方程 | 第57-61页 |
| ·悬臂梁的动力学方程 | 第58-59页 |
| ·薄膜悬臂梁的振动方程 | 第59-61页 |
| ·具有气敏涂层的超磁致伸缩悬臂梁谐振频率方程 | 第61-62页 |
| ·具有气敏涂层的超磁致伸缩振动图像 | 第62-64页 |
| ·具有气敏涂层的超磁致伸缩薄膜在乙醇气体检测中的应用 | 第64-71页 |
| ·气敏涂层的感应机理 | 第64页 |
| ·气敏检测的灵敏度 | 第64-65页 |
| ·乙醇气体浓度的实验检测 | 第65-71页 |
| ·本章小节 | 第71-72页 |
| 结论 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 附录A 实验部分实物照片 | 第77-79页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
