| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-13页 |
| ·干涉测量技术的发展和研究现状 | 第9-11页 |
| ·本论文的研究内容及意义 | 第11-13页 |
| 第二章 等厚干涉中的能量分配特性及应用 | 第13-21页 |
| ·分振幅干涉 | 第13-14页 |
| ·等厚干涉 | 第14-18页 |
| ·等厚干涉中的光能量分配特性 | 第16-18页 |
| ·等厚干涉中光能量分配特性的应用 | 第18-21页 |
| 第三章 能量差分干涉测量技术 | 第21-35页 |
| ·激光M-Z 干涉仪 | 第21页 |
| ·激光M-Z 干涉仪中光能量分配特性 | 第21-26页 |
| ·理论分析 | 第21-24页 |
| ·激光M-Z 干涉仪的干涉条纹变化规律 | 第24-26页 |
| ·能量差动干涉测量方法 | 第26-35页 |
| ·激光M-Z 干涉仪输出光能量随光阑孔直径的变化特性 | 第26-28页 |
| ·采用能量差分干涉测量技术消除背景噪声 | 第28-31页 |
| ·采用能量差分干涉测量技术消除条纹抖动 | 第31-35页 |
| 第四章：实验装置和信号处理方法 | 第35-45页 |
| ·实验装置简介 | 第35-39页 |
| ·He-Ne 激光器光源 | 第35-37页 |
| ·光电倍增管(PMT) | 第37-38页 |
| ·光束扩束和准直系统 | 第38-39页 |
| ·信号处理方法 | 第39-45页 |
| ·数据平滑 | 第39-43页 |
| ·干涉条纹判读 | 第43-45页 |
| 第五章 实验结果与分析 | 第45-49页 |
| ·能量差分干涉技术基本原理实验 | 第45-47页 |
| ·光学均匀性测量实验 | 第47-49页 |
| 第六章 结论与展望 | 第49-50页 |
| ·总结 | 第49页 |
| ·展望 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-55页 |
| 攻读硕士期间发表论文 | 第55页 |