| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-17页 |
| ·课题来源 | 第7页 |
| ·压电执行器的应用实例 | 第7-12页 |
| ·压电执行器在原子力显微镜（AFM）中的应用 | 第7-8页 |
| ·压电执行器在硬盘（HDD）伺服系统中的应用 | 第8-9页 |
| ·压电执行器在尺蠖驱动器（Inchworm Actuator）中的应用 | 第9-10页 |
| ·压电超声波驱动器的应用 | 第10-11页 |
| ·压电执行器在平面惯性移动机构中的应用 | 第11-12页 |
| ·压电执行器的优缺点 | 第12-15页 |
| ·压电执行器的优点 | 第12-13页 |
| ·压电执行器的缺点 | 第13-15页 |
| ·选题的目的和论文的主要内容 | 第15-17页 |
| ·选题的目的 | 第15页 |
| ·论文的主要内容 | 第15-17页 |
| 第二章 压电执行器工作原理及磁滞建模方法综述 | 第17-29页 |
| ·压电执行器的工作原理 | 第17-18页 |
| ·压电效应 | 第17-18页 |
| ·逆压电效应 | 第18页 |
| ·磁滞模型 | 第18-28页 |
| ·Preisach 模型 | 第19-22页 |
| ·Prandtl-Ishlinskii 模型 | 第22-23页 |
| ·Bouc-Wen 模型 | 第23-24页 |
| ·Wiener 模型 | 第24-27页 |
| ·四个磁滞模型的总结 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 粒子群优化算法（PSO） | 第29-39页 |
| ·粒子群优化算法 | 第29页 |
| ·基本粒子群优化算法（PSO） | 第29-32页 |
| ·PSO 的稳定性分析 | 第30-31页 |
| ·PSO 的计算过程 | 第31-32页 |
| ·基于速度最优的粒子群优化算法（VEPSO） | 第32-37页 |
| ·VEPSO 的思想 | 第32-33页 |
| ·VPPSO 的算法过程 | 第33页 |
| ·VEPSO 的系数确定和结果分析 | 第33-37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 第四章 压电执行器PPA80L 建模 | 第39-47页 |
| ·建立静态（磁滞）模型 | 第39-41页 |
| ·优化目标函数 | 第40-41页 |
| ·PPA80L 的磁滞模型 | 第41页 |
| ·建立动态建模 | 第41-45页 |
| ·从控制电压到机械输出的模型 | 第42-44页 |
| ·从机械输出到电测量输出 | 第44-45页 |
| ·本章总结 | 第45-47页 |
| 第五章 压电PID 的VEPSO 优化设计 | 第47-71页 |
| ·MATLAB 中PID 优化实例“PIDTUNE_DEMO” | 第47-49页 |
| ·优化评价函数的建立 | 第49-66页 |
| ·提出优化评价函数的依据 | 第50-53页 |
| ·优化评价函数的形式 | 第53页 |
| ·测试评价函数的性能 | 第53-66页 |
| ·压电执行器的控制器优化设计 | 第66-70页 |
| ·PID 控制方案 | 第67-68页 |
| ·优化PID 参数 | 第68-69页 |
| ·PID 优化结果分析 | 第69-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第六章 结论与展望 | 第71-73页 |
| 附录A PSO 测试函数 | 第73-77页 |
| 附录B PSO 四种算法函数值下降图 | 第77-83页 |
| 致谢 | 第83-85页 |
| 参考文献 | 第85-89页 |
| 研究成果 | 第89-90页 |