| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-21页 |
| ·研究背景 | 第8-12页 |
| ·ZnS 的结构及其性质介绍 | 第12-15页 |
| ·ZnS 薄膜在铜铟镓硒(CIGS)化合物薄膜太阳能电池中的应用 | 第15-16页 |
| ·ZnS 薄膜制备方法 | 第16-20页 |
| ·化学气相沉积法（Chemical Vapor Deposition） | 第17页 |
| ·分子束外延法(MBE，即Molecule Beam Epitaxy) | 第17-18页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第18页 |
| ·热壁外延法（Hot Wall Epitaxy） | 第18-19页 |
| ·电化学沉积法 | 第19-20页 |
| ·化学浴沉积法（CBD，即Chemical Bath Depositon） | 第20页 |
| ·本文主要研究内容 | 第20-21页 |
| 2 ZnS 薄膜的化学浴生长方法及薄膜的制备和测量 | 第21-34页 |
| ·概述 | 第21-24页 |
| ·实验部分 | 第24-27页 |
| ·实验所用的设备与原料 | 第24-25页 |
| ·实验方案设计 | 第25页 |
| ·实验过程 | 第25-27页 |
| ·薄膜性能测试 | 第27-34页 |
| ·薄膜性能表征方法 | 第27-29页 |
| ·薄膜性能测试及原理 | 第29-34页 |
| 3 实验结果分析 | 第34-51页 |
| ·薄膜生长方式分析 | 第34-35页 |
| ·薄膜生长过程 | 第34页 |
| ·薄膜的生长模式 | 第34-35页 |
| ·薄膜性能分析及其影响因素 | 第35-51页 |
| ·薄膜的厚度 | 第35-40页 |
| ·薄膜的光学性质 | 第40-44页 |
| ·薄膜XRD 分析 | 第44-51页 |
| 4 化学浴沉积ZnS 薄膜反应机理讨论 | 第51-64页 |
| ·相关基本理论 | 第51-54页 |
| ·溶度积和离子积的概念 | 第51-52页 |
| ·薄膜的形成 | 第52-53页 |
| ·同相沉积和异相沉积 | 第53-54页 |
| ·CBD 生长过程及机理 | 第54-63页 |
| ·CBD 反应一般步骤 | 第54页 |
| ·CBD 法沉积ZnS 的反应和模式 | 第54-61页 |
| ·各添加物在反应过程中的作用 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 5 总结及展望 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
