| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-22页 |
| ·引言 | 第7-8页 |
| ·光纤连接器 | 第8-13页 |
| ·微机电系统（MEMS） | 第13-16页 |
| ·MEMS 光纤连接器 | 第16-20页 |
| ·本课题的研究意义与研究内容 | 第20-22页 |
| 第二章 自适应式MEMS集成光纤连接器的结构设计与仿真优化 | 第22-35页 |
| ·结构设计及工作原理分析 | 第22-27页 |
| ·结构参数确定 | 第27-33页 |
| ·本章小结 | 第33-35页 |
| 第三章 自适应式MEMS 集成光纤连接器的制备及性能测试 | 第35-52页 |
| ·单元器件制备工艺流程 | 第35-47页 |
| ·单元器件性能测试 | 第47-49页 |
| ·1×16 阵列器件的制备 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 第四章 电热驱动主动式MEMS 集成光纤连接器的结构设计 | 第52-60页 |
| ·结构设计与分析 | 第52-53页 |
| ·双层复合膜电热驱动原理 | 第53-55页 |
| ·仿真分析 | 第55-58页 |
| ·工艺流程设计 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 总结与展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文和申请的专利 | 第65-68页 |
| 上海交通大学学位论文答辩决议书 | 第68页 |