直流热阴极PCVD法制备金刚石膜电源的研究

第一章 绪论	第1-21页
·CVD 金刚石的发展历史与现状	第6-8页
·气体的直流辉光放电	第8-17页
·低压气体的放电与击穿	第9-10页
·低压气体的直流辉光放电	第10-13页
·高气压下直流辉光放电的产生与维持	第13-17页
·制备金刚石膜的方法简介	第17-19页
·论文的选题和主要研究内容	第19-21页
第二章 PCVD 电源的硬件设计	第21-48页
·直流热阴极PCVD 装置	第21-22页
·电源的总体设计方案	第22-23页
·主回路的硬件结构	第23-26页
·控制电路的硬件结构	第26-48页
·微处理器AT89C52	第26-32页
·数据采集电路的设计	第32-37页
·过压、过流保护电路的设计	第37页
·断水保护电路的设计	第37-38页
·调压电机控制电路的设计	第38-39页
·键盘、指示灯接口	第39-42页
·显示接口电路	第42-43页
·串行通讯接口电路	第43-48页
第三章 PCVD 电源的软件设计	第48-63页
·电源监控程序的设计	第48-61页
·电压调节程序的设计	第49-53页
·数据采集程序的设计	第53-58页
·字符显示程序的设计	第58-60页
·工作方式程序的设计	第60-61页
·计算机监控程序的设计	第61-63页
第四章 实验数据分析	第63-72页
·高气压下直流辉光放电状态	第63-64页
·放电参量对放电状态的影响	第64-68页
·放电参量的变化规律	第68-72页
结 论	第72-73页
参考文献	第73-76页
中 文 摘 要	第76-78页
Abstract	第78-80页
致 谢	第80页