| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-13页 |
| 1 绪论 | 第13-29页 |
| ·MEMS技术 | 第13-14页 |
| ·MEMS中摩擦学研究进展 | 第14-20页 |
| ·MEMS中摩擦学特征 | 第14-18页 |
| ·MEMS中摩擦学问题的研究 | 第18-20页 |
| ·MEMS中粘附问题 | 第20-23页 |
| ·MEMS表面改性研究进展 | 第23-25页 |
| ·DLC膜摩擦特性研究 | 第25-27页 |
| ·本文的研究内容 | 第27-29页 |
| 2 DLC膜的制备 | 第29-38页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·DLC膜制备方法概述 | 第29-32页 |
| ·物理气相沉积 | 第29-31页 |
| ·化学气相沉积 | 第31-32页 |
| ·MW-ECR-PSⅡ设备的结构和工作原理 | 第32-35页 |
| ·DLC膜制备 | 第35-37页 |
| ·衬底前处理 | 第35页 |
| ·非平衡磁控溅射(UMS)法制备DLC膜工艺 | 第35页 |
| ·等离子体源离子注入(PSⅡ)法制备DLC膜工艺 | 第35-37页 |
| ·等离子体辅助化学气相沉积(PECVD)DLC膜工艺 | 第37页 |
| ·小结 | 第37-38页 |
| 3 DLC膜结构与性能分析 | 第38-59页 |
| ·引言 | 第38页 |
| ·拉曼光谱(Raman) | 第38-44页 |
| ·X射线光电子谱(XPS) | 第44-46页 |
| ·傅立叶变换红外吸收光谱(FT—IR) | 第46-48页 |
| ·DLC膜的表面形貌 | 第48-50页 |
| ·DLC膜硬度表征 | 第50-52页 |
| ·DLC膜憎水性能测试 | 第52-54页 |
| ·DLC膜成膜机理初步探讨 | 第54-58页 |
| ·小结 | 第58-59页 |
| 4 应用于MEMS的DLC膜微摩擦磨损研究 | 第59-86页 |
| ·引言 | 第59-60页 |
| ·摩擦试验机表征DLC膜的摩擦学特性 | 第60-67页 |
| ·摩擦性能 | 第60-64页 |
| ·磨损性能 | 第64-66页 |
| ·膜与衬底结合性能 | 第66-67页 |
| ·AFM测试DLC膜的摩擦学特性 | 第67-80页 |
| ·AFM摩擦实验原理 | 第67-68页 |
| ·DLC膜微观摩擦性能 | 第68-76页 |
| ·DLC膜微观磨损性能 | 第76-80页 |
| ·DLC膜微观摩擦模型探讨 | 第80-84页 |
| ·小结 | 第84-86页 |
| 5 DLC膜用于解决多晶硅悬臂梁粘附问题的研究 | 第86-102页 |
| ·引言 | 第86页 |
| ·MEMS中粘附机制 | 第86-90页 |
| ·多晶硅悬臂梁阵列的制备 | 第90-92页 |
| ·结果与讨论 | 第92-95页 |
| ·多晶硅悬臂梁与衬底间单位面积上的粘附能 | 第95-101页 |
| ·小结 | 第101-102页 |
| 结论 | 第102-104页 |
| 创新点摘要 | 第104-105页 |
| 参考文献 | 第105-115页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文情况 | 第115-116页 |
| 致谢 | 第116-117页 |
| 作者简介 | 第117-118页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第118页 |