第一章 前言 | 第1-14页 |
·引言 | 第8页 |
·电介质材料复介电常数测试主要方法 | 第8-12页 |
·传输法 | 第9-10页 |
·谐振法 | 第10-12页 |
·本课题的研究内容 | 第12-14页 |
第二章 理论分析 | 第14-23页 |
·高Q 腔法拓展 | 第14页 |
·测试原理 | 第14-23页 |
·对介电常数实部εr′的求解 | 第15-16页 |
·对介质损耗tanδ的求解 | 第16-19页 |
·对表面电阻Rs 的求解 | 第19-20页 |
·固有品质因数Q 的测量 | 第20-23页 |
第三章 基于高Q 腔法测试原理的腔体设计 | 第23-32页 |
·测试腔体尺寸的优化仿真设计 | 第23-26页 |
·耦合装置的设计 | 第26-28页 |
·谐振腔的激励和耦合 | 第26-27页 |
·本文测试系统耦合装置的优化设计 | 第27-28页 |
·腔体端面不接触活塞的设计 | 第28-30页 |
·腔体具体结构的设计 | 第30-32页 |
第四章 测试系统 | 第32-36页 |
·自动测试系统的建立 | 第32-33页 |
·模式的识别和搜索原理 | 第33-34页 |
·测试操作步骤 | 第34-35页 |
·样品尺寸及要求 | 第35-36页 |
第五章 自动测试软件 | 第36-42页 |
·Visual Basic 简述 | 第36-37页 |
·可视化 | 第36页 |
·事件驱动 | 第36-37页 |
·交互式 | 第37页 |
·介电参数测试程序 | 第37-42页 |
·介电参数测试软件流程分析 | 第38-39页 |
·介电参数测试软件用户界面 | 第39-42页 |
第六章 测试结果 | 第42-49页 |
·空腔固有品质因数的测量 | 第42页 |
·测试系统的验证 | 第42-43页 |
·样品的测量 | 第43-45页 |
·误差分析 | 第45-49页 |
·函数误差 | 第45页 |
·函数系统误差计算 | 第45-46页 |
·误差来源 | 第46页 |
·介电常数误差的分析 | 第46-49页 |
第七章 薄膜材料复介电常数测试理论研究 | 第49-55页 |
·薄膜材料测试理论研究 | 第49页 |
·适用于测量薄膜材料复介电常数的改进TEorp 腔法 | 第49-51页 |
·薄膜介电常数的模拟测试 | 第51-55页 |
·薄片介电常数测试软件 | 第51-53页 |
·测试结果 | 第53-55页 |
第八章 结论 | 第55-56页 |
致谢 | 第56-57页 |
参考文献 | 第57-59页 |
个人简历、在学期间的科研成果以及发表的学术论文 | 第59-60页 |
附录 | 第60-63页 |