射频集成磁膜微电感的制备与性能研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-20页 |
| ·课题目的和意义 | 第10-11页 |
| ·研究状况和进展 | 第11-18页 |
| ·RF 集成磁膜微电感的关键技术 | 第18-19页 |
| ·论文各部分的主要内容 | 第19-20页 |
| 2 RF 集成磁膜微电感的理论基础研究 | 第20-51页 |
| ·平面电感的物理模型与参数计算 | 第20-33页 |
| ·RF 集成磁膜微电感的物理模型与参数计算 | 第33-42页 |
| ·螺旋电感的趋肤效应和临近效应PEEC 分析 | 第42-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 3 RF 集成磁膜微电感的材料基础研究 | 第51-84页 |
| ·磁性薄膜的制备、结构表征与物性测量方法 | 第51-55页 |
| ·几种软磁铁氧体的高频电磁性能研究 | 第55-63页 |
| ·NiCuZn 铁氧体薄膜的制备及性能研究 | 第63-76页 |
| ·YIG 铁氧体磁膜的制备和性能研究 | 第76-82页 |
| ·本章小结 | 第82-84页 |
| 4 RF 集成磁膜微电感关键工艺研究 | 第84-99页 |
| ·磁性薄膜的刻蚀工艺 | 第84-87页 |
| ·聚酰亚胺介质层的制备与刻蚀 | 第87-90页 |
| ·电镀Cu 工艺研究 | 第90-98页 |
| ·本章小结 | 第98-99页 |
| 5 RF 集成磁膜微电感的制备 | 第99-109页 |
| ·双金属层磁膜微电感的版图设计 | 第99-102页 |
| ·电感的整体流程与工艺经验 | 第102-106页 |
| ·电感流水结果 | 第106-108页 |
| ·本章小结 | 第108-109页 |
| 6 RF 集成微电感性能测试与分析 | 第109-126页 |
| ·电感线圈结构及材料参数的测试 | 第109-110页 |
| ·RF 微电感高频性能测试原理 | 第110-113页 |
| ·电感的高频性能测试结果 | 第113-125页 |
| ·本章小结 | 第125-126页 |
| 7 总结 | 第126-128页 |
| 致谢 | 第128-130页 |
| 参考文献 | 第130-137页 |
| 附录1 攻读学位期间发表的论文目录 | 第137-138页 |
| 附录2 磁膜微电感工艺流程卡 | 第138-139页 |
| 附录3 磁膜微电感仿真程序 | 第139-140页 |
