洁净室气流组织模拟及优化

摘要	第1-4页
ABSTRACT	第4-8页
1 绪论	第8-15页
·概述生产环境控制与微电子工业发展的关系	第8-9页
·洁净室的应用与发展	第9-13页
·本课题的研究内容	第13-15页
2 洁净室的原理及送风方式	第15-26页
·前言	第15-16页
·洁净室原理	第16-20页
·IC 洁净室的送风方式	第20-24页
·本章小结	第24-26页
3 洁净室气流组织的影响因素	第26-33页
·前言	第26-27页
·气流组织的影响因素	第27-31页
·本课题的模型	第31-32页
·本章小结	第32-33页
4 洁净室气流数学模型理论和CFD 方法	第33-54页
·前言	第33页
·洁净室模拟的数学模型	第33-42页
·控制方程的离散	第42-45页
·微分方程的离散	第45-47页
·交错网格	第47-48页
·基于SIMPLE 算法的速度场和压力场的求解	第48-51页
·SIMPLE 算法的计算顺序	第51-52页
·数值计算软件的介绍	第52页
·本章小结	第52-54页
5 洁净室气流组织模拟的实例分析	第54-65页
·前言	第54页
·洁净室空调系统的送风方案	第54页
·模拟的物理模型	第54-63页
·两种模型的分析比较	第63-64页
·本章小结	第64-65页
6 全文总结与展望	第65-67页
·全文总结	第65-66页
·展望	第66-67页
致谢	第67-68页
参考文献	第68-73页
附录 1 攻读学位期间发表论文目录	第73页