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溶胶凝胶法制备均匀无裂纹的氧化锆薄膜

第一章 绪论第1-26页
 1.1 薄膜技术的发展及应用第7-10页
  1.1.1 薄膜技术的发展第7-8页
  1.1.2 薄膜的体系性能及应用第8页
  1.1.3 薄膜的制备方法第8-10页
 1.2 溶胶—凝胶法第10-15页
  1.2.1 溶胶—凝胶法基本原理第10-11页
  1.2.2 溶胶—凝胶法发展历史第11-12页
  1.2.3 溶胶—凝胶法工艺过程第12-15页
   1.2.3.1 溶胶的制备第12-13页
   1.2.3.2 溶胶的影响因素第13-14页
   1.2.3.3 溶胶-凝胶转化第14-15页
 1.3 氧化锆的性质及应用第15-18页
  1.3.1 氧化锆的性质第15页
  1.3.2 氧化锆的应用第15-18页
 1.4 聚乙烯醇(PVA)水溶性高分子第18-24页
  1.4.1 化学结构、醇解度、聚合度第18-20页
  1.4.2 水溶性第20页
  1.4.3 粘度第20-22页
  1.4.4 表面活性第22页
  1.4.5 聚乙烯醇水溶液的粘接力第22页
  1.4.6 隔气性第22-23页
  1.4.7 热稳定性第23页
  1.4.8 聚乙烯醇的改性第23-24页
 1.5 激光加工的应用第24-25页
 1.6 论文研究内容概述第25-26页
第二章 试验材料及实验方法第26-38页
 2.1 试验依据第26-27页
 2.2 实验原料及使用仪器第27-30页
  2.2.1 实验原料第27页
  2.2.2 实验所用仪器第27页
  2.2.3 基板材料及处理方法第27-30页
 2.3 薄膜制备过程第30-36页
  2.3.1 PVA溶液的制备第30页
  2.3.2 氧化锆溶胶的制备第30-31页
  2.3.3 涂膜第31-33页
  2.3.4 干燥第33-34页
  2.3.5 烧结第34页
  2.3.6 激光加工第34-36页
 2.4 测试方法第36-38页
  2.4.1 扫描电镜分析无机膜的表面形貌第36页
  2.4.2 能谱仪进行成分分析第36页
  2.4.3 X射线衍射(XRD)试验测定物相结构第36页
  2.4.4 差热分析薄膜的热性能第36-37页
  2.4.5 数字显微硬度计第37-38页
第三章 实验结果与讨论第38-56页
 3.1 引入Y_2O_3对ZrO_2陶瓷膜烧结行为的影响第38-39页
 3.2 基体预处理对薄膜形貌的影响第39-40页
 3.3 PVA含量对薄膜的影响第40-46页
  3.3.1 PVA的表面活性作用第40-43页
  3.3.2 PVA的其他作用第43页
  3.3.3 PVA对薄膜构成的影响第43-46页
   3.3.3.1 差热曲线第43-44页
   3.3.3.2 X射线衍射图谱第44-46页
 3.4 干燥制度的影响第46-52页
  3.4.1 水的分类第46-47页
  3.4.2 水分移动的机理第47-49页
  3.4.3 分级干燥法第49-52页
 3.5 不同烧结温度的影响第52-56页
第四章 激光作用结果第56-63页
 4.1 激光辐照经过预烧结的薄膜第56-59页
  4.1.1 激光辐照结果第57-59页
  4.1.2 激光频率对薄膜形成的影响第59页
  4.1.3 激光脉宽对薄膜形成的影响第59页
 4.2 激光作用溶胶和粉复合涂层第59-63页
第五章 结论第63-65页
参考文献第65-72页
中文详细摘要第72-74页
Abstract第74-77页
致谢第77页

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