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多孔硅材料制备新方法及其发光性能和机理的研究

独创性声明第1页
学位论文版权使用授权书第2-3页
摘要第3-4页
ABSTRACT第4-8页
第一章 绪论第8-24页
 1.1 多孔硅发光材料的研究意义第8-9页
 1.2 多孔硅发光材料的研究进展第9-21页
  1.2.1 多孔硅的制备方法第9-14页
   1.2.1.1 电化学刻蚀法(阳极氧化法)第9-11页
   1.2.1.2 光化学刻蚀法第11-12页
   1.2.1.3 化学腐蚀法第12-13页
   1.2.1.4 其它方法第13-14页
  1.2.2 多孔硅的生长机制第14-16页
  1.2.3 多孔硅的发光性能及发光机理第16-18页
   1.2.3.1 多孔硅的发光性能第16-17页
   1.2.3.2 多孔硅的发光机理第17-18页
  1.2.4 多孔硅的应用前景第18-21页
   1.2.4.1 多孔硅基发光二极管第18-19页
   1.2.4.2 多孔硅基光探测器第19-20页
   1.2.4.3 多孔硅湿度传感器第20-21页
 1.3 多孔硅发光材料目前存在的问题第21页
 1.4 本试验的试验方法及创新之处第21-24页
  1.4.1 二步法多孔硅第22-23页
  1.4.2 激光法多孔硅第23-24页
第二章 试验原料和试验装置第24-27页
 2.1 试验原料第24页
 2.2 试验装置第24-27页
  2.2.1 恒温磁力搅拌器第24-25页
  2.2.2 化学刻蚀装置第25页
  2.2.3 电化学刻蚀装置第25-26页
  2.2.4 激光器第26-27页
第三章 二步法多孔硅第27-40页
 3.1 二步法多孔硅的制备第27页
  3.1.1 第一步——化学刻蚀第27页
  3.1.2 第二步——电化学刻蚀第27页
  3.1.3 对比试验第27页
 3.2 二步法多孔硅的表征第27-29页
  3.2.1 光致发光性能(PL)第28页
  3.2.2 表面及截面形貌(SEM)第28-29页
  3.2.3 成分分析(EDS)第29页
  3.2.4 表面键分析(FTIR)第29页
 3.3 试验结果与讨论第29-35页
  3.3.1 光致发光性能第29-30页
  3.3.2 表面及截面形貌第30-32页
  3.3.3 成分分析及表面键分析第32-34页
  3.3.4 银对光致发光性能的影响第34-35页
 3.4 独特的多孔硅结构第35-38页
  3.4.1 独特结构及其形成机制第35-37页
  3.4.2 独特结构的可能应用前景第37-38页
 3.5 今后的研究方向第38-40页
第四章 激光法多孔硅第40-50页
 4.1 激光法多孔硅的制备第40-41页
  4.1.1 多孔硅的制备第40页
  4.1.2 多孔硅的后处理第40页
  4.1.3 激光处理第40-41页
 4.2 激光法多孔硅的表征第41页
  4.2.1 光致发光性能、表面键和截面形貌分析(PL, FTIR, SEM)第41页
  4.2.2 非晶化检测(XRD)第41页
 4.3 试验结果与讨论第41-50页
  4.3.1 激光处理参数的理论计算第42-45页
  4.3.2 光致发光性能第45页
  4.3.3 非晶化检测和形貌分析第45-47页
  4.3.4 表面键分析第47-50页
第五章 结论第50-51页
参考文献第51-57页
发表论文和参加科研情况说明第57-58页
致谢第58页

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