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化合物半导体负阻器件模拟、设计及其应用的研究

第一章 绪论第1-24页
 §1.1 课题的研究背景和意义第11-13页
 §1.2 共振隧穿器件工作原理第13-17页
  §1.2.1 基本概念第13-14页
  §1.2.2 基本理论第14-17页
 §1.3 共振隧穿隧穿二极管(Resonant Tunneling Diode)的国内外的发展现状第17-21页
  §1.3.1 理论模型第18-19页
  §1.3.2 器件研究进展第19-20页
  §1.3.3 RTD的应用第20-21页
 §1.4 微分负阻三端器件的共同工作原理第21-22页
 §1.5 微分负阻异质结双极晶体管(简称NDR HBT)的国内外的发展现状第22页
 §1.6 本论文的研究工作第22-24页
第二章 RTD、NDRHBT及其单元电路设计与制备第24-42页
 §2.1 材料设计与制备第24-27页
  §2.1.1 分子束外延技术(MBE)简介第24页
  §2.1.2 MBE原理和装置第24-27页
 §2.2 RTD材料设计第27-31页
  §2.2.1 RTD设计的考虑第27-30页
  §2.2.2 RTD材料设计第30-31页
 §2.3 RTD和串联RTD的结构、版图与工艺第31-34页
  §2.3.1 RTD器件的结构第31-32页
  §2.3.2 RTD和串联RTD版图与工艺第32-34页
 §2.4 RTD单元电路结构、版图与工艺第34-36页
 §2.5 三种NDRHBT材料设计与制备第36-38页
  §2.5.1 电阻栅材料结构设计第36-37页
  §2.5.2 在超薄基区负阻异质结晶体管(UTBNDRHBT)材料结构设计(8nm)第37页
  §2.5.3 双基区晶体管DUBAT第37-38页
 §2.6 NDR HBT单元电路结构、版图与工艺第38-42页
第三章 测试与分析第42-65页
 §3.1 RTD&串联RTD直流与双稳态特性的测试第42-45页
 §3.2 RTD Ⅰ-Ⅴ特性的温度效应第45-50页
 §3.3 三种类型的NDRHBT的研制及测试与分析第50-65页
  §3.3.1 电阻栅结构异质结双极晶体管HBT的研制第50-56页
  §3.3.2 超薄基区负阻HBT的研制(8nm)第56-62页
  §3.3.3 双基区晶体管(DUBAT)或基区刻断晶体管的研制第62-65页
第四章 器件模拟与电路模型的建立第65-76页
 §4.1 器件模拟研究第65-72页
 §4.2 RTD器件模型模拟的研究第72-74页
 §4.3 NDRHBT器件模拟的研究第74-76页
第五章 NDR HBT应用电路的研究第76-85页
 §5.1 NDR HBT构成的神经晶体管的原理、版图与工艺第76-81页
  §5.1.1 RTD构成的神经晶体管的原理第76-79页
  §5.1.2 NDR HBT构成的神经晶体管版图与工艺第79-81页
 §5.2 NDR HBT构成的柔性逻辑电路的原理、版图与工艺第81-85页
  §5.2.1 NDR HBT构成的柔性逻辑电路的原理第81-84页
  §5.2.2 NDR HBT构成的柔性逻辑电路版图与工艺第84-85页
第六章 结束语第85-86页
参考文献:第86-93页
攻读硕士学位期间发表的学术论文第93-94页
附录第94-101页
致谢第101-102页

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