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热氧化法制备的纳米氧化锌及其掺氮薄膜的特性研究

摘要第1-4页
英文摘要第4-5页
目录第5-7页
第一章 引言第7-20页
   ·ZnO材料的基本特性第7-9页
   ·ZnO材料的研究进展第9-18页
     ·ZnO紫外激光发射第9-11页
     ·一维ZnO纳米材料第11-16页
     ·ZnO p型掺杂第16-18页
   ·ZnO材料研究中尚待解决的问题第18-20页
第二章 ZnO薄膜的制备设备和表征方法介绍第20-26页
   ·分子有机化学气相沉积设备的原理和结构第20-22页
   ·热氧化装置的结构第22-23页
   ·X射线衍射的原理第23-24页
   ·微区光致发光光谱仪的结构第24-26页
第三章 热氧化ZnS制备纳米ZnO薄膜及其光致发光特性的研究第26-34页
   ·研究背景第26页
   ·样品的制备第26-27页
   ·样品的结构表征第27-29页
   ·样品的光学特性表征第29-33页
   ·本章小结第33-34页
第四章 热氧化Zn_3N_2制备ZnO:N薄膜及其光电特性的研究第34-45页
   ·研究背景第34-36页
   ·样品的制备第36-37页
   ·样品结构的表征及光学电学性质的研究第37-44页
     ·ZnO:N薄膜结构性质的研究第37-38页
     ·ZnO:N薄膜光学性质的研究第38-42页
     ·ZnO:N薄膜电学特性的研究第42-44页
   ·本章小结第44-45页
第五章 结论第45-46页
参考文献第46-51页
致谢第51-52页
硕士期间发表文章第52页

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