力电耦合MEMS器件的VHDL-AMS建模方法
| 中文摘要 | 第1-6页 |
| 英文摘要 | 第6-9页 |
| 第一章 绪言 | 第9-12页 |
| ·微电子机械系统 | 第9页 |
| ·MEMS CAD | 第9-11页 |
| ·系统级模拟的必要性 | 第11页 |
| ·本论文的主要工作 | 第11-12页 |
| 第二章 力电耦合MEMS器件宏模型 | 第12-25页 |
| ·静电激励的基本原理 | 第12-13页 |
| ·有限单元法 | 第13页 |
| ·MEMS器件宏模型 | 第13-14页 |
| ·当前的几种主要方法 | 第14-19页 |
| ·等效电路法 | 第14-17页 |
| ·节点设计法 | 第17-18页 |
| ·基函数法 | 第18-19页 |
| ·VHDL-AMS语言简介 | 第19-23页 |
| ·VHDL-AMS的基本特点 | 第19页 |
| ·VHDL-AMS的语法 | 第19-21页 |
| ·VHDL-AMS的用途和优点 | 第21-22页 |
| ·建模方法 | 第22页 |
| ·一个简单的例子 | 第22-23页 |
| ·仿真平台简介 | 第23-25页 |
| 第三章 集总参数宏模型 | 第25-41页 |
| ·梳状谐振器的工作原理 | 第25-26页 |
| ·工艺流程 | 第26-27页 |
| ·模型 | 第27-32页 |
| ·有效质量及弹性系数 | 第28-30页 |
| ·静电力 | 第30-32页 |
| ·VHDL-AMS描述 | 第32-34页 |
| ·系统级模拟 | 第34-35页 |
| ·模拟结果及分析 | 第35-37页 |
| ·时域分析 | 第35-36页 |
| ·频域分析 | 第36-37页 |
| ·有限元分析与验证 | 第37-39页 |
| ·结论 | 第39-41页 |
| 第四章 分布参数宏模型 | 第41-55页 |
| ·静电驱动固支梁 | 第41-42页 |
| ·模态叠加法 | 第42-44页 |
| ·宏模型的建立 | 第44-51页 |
| ·有限元分析 | 第44-46页 |
| ·曲线拟合 | 第46-49页 |
| ·VHDL-AMS描述 | 第49-51页 |
| ·模拟结果与分析 | 第51-54页 |
| ·频域响应 | 第52页 |
| ·瞬态响应 | 第52-53页 |
| ·接触过程的模拟 | 第53-54页 |
| ·结论 | 第54-55页 |
| 第五章 结束语 | 第55-57页 |
| ·总结 | 第55页 |
| ·存在的问题及改进意见 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 在学期间发表的论文 | 第61页 |
