金属离子高温注入金属靶传质机制研究

中文摘要	第1-6页
英文摘要	第6-7页
1 绪论	第7-13页
·金属离子高温注入技术	第7-9页
·离子注入技术	第7-8页
·金属离子高温注入	第8-9页
·离子注入传质过程模型化	第9-12页
·常规离子注入传质模型	第10页
·金属离子高温注入传质模型	第10-11页
·间隙原子注入传质模型	第11-12页
·本文研究目的及研究内容	第12-13页
2 金属离子高温注入金属靶传质模型	第13-41页
·金属离子注入金属靶的Monte Carlo模拟	第13-31页
·Monte Carlo方法	第13-15页
·粒子与固体相互作用理论	第15-18页
·静态靶注入模拟模型	第18-24页
·动态靶注入模拟模型	第24-25页
·动态靶注入模拟计算流程	第25-30页
·讨论	第30-31页
·辐照增强扩散理论	第31-36页
·金属离子高温注入金属靶传质模型	第36-37页
·传质模型数值计算方法	第37-41页
·计算参数选择	第37-38页
·差分方程建立	第38-41页
3 金属离子高温注入金属靶实验研究	第41-48页
·金属离子高温注入设备及工艺	第41页
·分析方法	第41页
·实验结果	第41-46页
·相结构	第41-43页
·注入粒子浓度-深度分布	第43-46页
·讨论	第46-48页
4 金属离子高温注入金属靶的传质计算	第48-65页
·计算参数	第48-49页
·Cr离子高温注入Al靶	第49-52页
·Ni，Fe离子高温注入Al靶	第52-57页
·Al离子高温注入Fe靶	第57-62页
·讨论	第62-65页
5 结论	第65-66页
参考文献	第66-69页
致谢	第69-70页
攻读工学硕士学位期间完成的学术论文	第70-71页
大连理工大学学位论文版权使用授权书	第71-72页