电热激励揩振式硅微梁压力传感器特性研究及便携式压力测试仪的研制

摘要	第1-5页
Abstract	第5-6页
第1章 绪论	第6-16页
·微型压力传感器概述	第6-9页
·谐振式压力传感器的研究现状	第9-12页
·研究背景及意义	第12-14页
·本文主要研究内容	第14-16页
第2章 电热激励固支硅梁振动特性的理论分析	第16-27页
·电热激励固支梁的固有频率和振型	第16-19页
·轴向力作用下的横向振动方程	第19-20页
·电热激励源对于谐振硅梁振动特性的影响	第20-23页
·固支硅梁的非线性振动分析	第23-25页
·传感器信号检测原理	第25-26页
·小结	第26-27页
第3章 电热激励谐振式微梁压力传感器测试系统	第27-37页
·传感器的开环测试系统	第27-31页
·传感器的闭环测试系统	第31-36页
·小结	第36-37页
第4章 传感器闭环系统温度特性的研究	第37-49页
·传感器闭环系统传感器温度特性分析	第37-45页
·传感器闭环系统温漂的改进	第45-48页
·小结	第48-49页
第5章 便携式压力测试仪的研制	第49-62页
·测试仪总体设计	第49-50页
·频率信号的处理模块和uC模块的硬件设计	第50-52页
·相关温度信号的采集电路设计	第52-55页
·信号的后处理	第55-57页
·系统软件设计	第57-58页
·便携式压力测试仪的制作和测试	第58-60页
·小结	第60-62页
第6章 结论	第62-64页
参考文献	第64-66页
硕士论文期间发表论文	第66-67页
致谢	第67-68页
附录	第68-72页