| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| CONTENTS | 第11-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-24页 |
| ·研究背景及意义 | 第15-16页 |
| ·国内外相关研究现状 | 第16-23页 |
| ·超精密研磨加工技术的发展及研究现状 | 第16-18页 |
| ·金刚石刀具研磨装置研究的现状 | 第18-20页 |
| ·振动对金刚石超精密研磨加工的影响与研究现状 | 第20-21页 |
| ·现代控制方法的发展及应用 | 第21-23页 |
| ·课题来源 | 第23页 |
| ·主要研究内容 | 第23-24页 |
| 第二章 弹性浮动研磨扰动分析及其控制策略 | 第24-41页 |
| ·弹性浮动研磨的原理 | 第24-25页 |
| ·冲击扰动力学分析 | 第25-27页 |
| ·主轴系统振动与扰动分析 | 第27-29页 |
| ·主轴系统振动分析 | 第27-28页 |
| ·主轴纯轴向窜动模型 | 第28-29页 |
| ·进给系统的扰动分析 | 第29-33页 |
| ·进给过程中弹性梁所受冲击的受力分析 | 第29-30页 |
| ·端面跳动对冲击的影响 | 第30-33页 |
| ·通过实验研究进给过程对表面冲击的影响 | 第33-37页 |
| ·进给系统径向位置的变化对表面冲击的影响 | 第33-35页 |
| ·进给系统速度对冲击扰动的影响 | 第35-37页 |
| ·弹性浮动研磨装置及冲击抑制控制系统设计总体方案 | 第37-40页 |
| ·主轴系统设计策略 | 第37-38页 |
| ·微进给系统设计策略 | 第38页 |
| ·冲击抑制的控制策略 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第三章 弹性研磨浮动的主轴系统设计 | 第41-52页 |
| ·主轴系统结构设计 | 第41-42页 |
| ·主轴电机平稳运行的控制系统设计 | 第42-49页 |
| ·无位置传感器无刷直流电机工作原理 | 第42-43页 |
| ·利用感应电动势三次谐波检测法检测转子位置 | 第43-45页 |
| ·抑制扰动的平稳控制策略 | 第45-46页 |
| ·平稳控制策略硬件电路 | 第46-47页 |
| ·速度波动控制方案的实现 | 第47-49页 |
| ·主轴系统性能测试实验 | 第49-50页 |
| ·主轴系统转速测试 | 第49页 |
| ·主轴系统端面跳动测试 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 第四章 进给及冲击抑制的控制系统硬件设计 | 第52-56页 |
| ·研磨加工过程中冲击抑制控制系统总体要求 | 第52-53页 |
| ·进给系统设计 | 第53-54页 |
| ·进给系统的伺服电机选择 | 第53-54页 |
| ·运动控制卡的选取 | 第54页 |
| ·振动量采集部分硬件设计 | 第54-55页 |
| ·振动量分析及振动测量仪的选择 | 第54-55页 |
| ·数据采集卡的选择 | 第55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 弹性浮动研磨进给及冲击抑制系统的建模和仿真 | 第56-80页 |
| ·冲击抑制的控制系统 | 第56-58页 |
| ·冲击抑制的控制策略选择 | 第56-57页 |
| ·冲击抑制的控制系统方案设计 | 第57-58页 |
| ·研磨进给电气部分建模 | 第58-66页 |
| ·伺服电机建模 | 第58页 |
| ·电流环数学建模 | 第58-61页 |
| ·速度环数学建模 | 第61-63页 |
| ·精密研磨进给部分的计算及仿真 | 第63-66页 |
| ·机械进给机构模型 | 第66-70页 |
| ·弹性梁进给速度与在研磨盘径向振动量关系 | 第70-71页 |
| ·控制系统开环传递函数 | 第71-72页 |
| ·控制系统闭环仿真 | 第72-78页 |
| ·振动量控制器设计 | 第72-76页 |
| ·振动量控制系统闭环仿真及分析 | 第76-78页 |
| ·本章小结 | 第78-80页 |
| 第六章 弹性浮动研磨冲击抑制控制系统的软件设计及实验验证 | 第80-87页 |
| ·冲击抑制控制系统的总体设计 | 第80-81页 |
| ·振动量控制流程 | 第80页 |
| ·振动量控制软件的选择 | 第80-81页 |
| ·振动量控制算法的实现 | 第81-83页 |
| ·研磨盘面冲击抑制系统的构成 | 第83-84页 |
| ·弹性浮动研磨盘面冲击控制策略试验验证 | 第84-86页 |
| ·实验平台设计 | 第84页 |
| ·实验结果与分析 | 第84-86页 |
| ·本章小结 | 第86-87页 |
| 结论与展望 | 第87-89页 |
| 一.结论 | 第87-88页 |
| 二.展望 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-93页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第93-95页 |
| 致谢 | 第95页 |