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BCN薄膜的制备和表征

中文摘要第1-4页
Abstract第4-7页
第一章 引言第7-15页
   ·BCN 薄膜的研究现状第7页
   ·薄膜的结构第7-8页
   ·薄膜的生长第8-10页
   ·应用前景展望第10-11页
   ·本论文的研究思路和主要内容第11-12页
 参考文献第12-15页
第二章 薄膜的制备第15-20页
   ·薄膜的制备第15-17页
   ·基片的清洗第17-19页
 参考文献第19-20页
第三章 薄膜的表征第20-26页
   ·膜厚的测量第20页
   ·X 射线衍射(XRD)第20-21页
   ·透射电子显微镜(TEM)及选区电子衍射(SAED)第21页
   ·傅立叶变换红外光谱分析(FTIR)第21页
   ·原子力显微镜(AFM)第21-22页
   ·拉曼光谱(RAMAN)第22页
   ·纳米压痕技术第22-23页
   ·紫外—可见光透射第23-25页
 参考文献第25-26页
第四章 辅源离子能量的改变对BCN 薄膜结构和性质的影响第26-38页
   ·BCN 薄膜的结构第26-31页
   ·BCN 薄膜的AFM 表面形貌第31-32页
   ·BCN 薄膜的力学性质的分析第32-35页
   ·BCN 薄膜的光吸收特性第35-36页
   ·本章小结第36-37页
 参考文献第37-38页
第五章 辅源气体含量的改变对BCN 薄膜结构和性质的影响第38-49页
   ·BCN 薄膜的结构第38-42页
   ·BCN 薄膜的AFM 表面形貌第42-43页
   ·BCN 薄膜力学性质的分析第43-46页
   ·BCN 薄膜的光吸收特性第46-47页
   ·本章小结第47-48页
 参考文献第48-49页
第六章 结论第49-50页
攻读硕士学位期间公开发表的论文第50-51页
致谢第51-52页
详细摘要第52-54页

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