中文摘要 | 第1-4页 |
Abstract | 第4-7页 |
第一章 引言 | 第7-15页 |
·BCN 薄膜的研究现状 | 第7页 |
·薄膜的结构 | 第7-8页 |
·薄膜的生长 | 第8-10页 |
·应用前景展望 | 第10-11页 |
·本论文的研究思路和主要内容 | 第11-12页 |
参考文献 | 第12-15页 |
第二章 薄膜的制备 | 第15-20页 |
·薄膜的制备 | 第15-17页 |
·基片的清洗 | 第17-19页 |
参考文献 | 第19-20页 |
第三章 薄膜的表征 | 第20-26页 |
·膜厚的测量 | 第20页 |
·X 射线衍射(XRD) | 第20-21页 |
·透射电子显微镜(TEM)及选区电子衍射(SAED) | 第21页 |
·傅立叶变换红外光谱分析(FTIR) | 第21页 |
·原子力显微镜(AFM) | 第21-22页 |
·拉曼光谱(RAMAN) | 第22页 |
·纳米压痕技术 | 第22-23页 |
·紫外—可见光透射 | 第23-25页 |
参考文献 | 第25-26页 |
第四章 辅源离子能量的改变对BCN 薄膜结构和性质的影响 | 第26-38页 |
·BCN 薄膜的结构 | 第26-31页 |
·BCN 薄膜的AFM 表面形貌 | 第31-32页 |
·BCN 薄膜的力学性质的分析 | 第32-35页 |
·BCN 薄膜的光吸收特性 | 第35-36页 |
·本章小结 | 第36-37页 |
参考文献 | 第37-38页 |
第五章 辅源气体含量的改变对BCN 薄膜结构和性质的影响 | 第38-49页 |
·BCN 薄膜的结构 | 第38-42页 |
·BCN 薄膜的AFM 表面形貌 | 第42-43页 |
·BCN 薄膜力学性质的分析 | 第43-46页 |
·BCN 薄膜的光吸收特性 | 第46-47页 |
·本章小结 | 第47-48页 |
参考文献 | 第48-49页 |
第六章 结论 | 第49-50页 |
攻读硕士学位期间公开发表的论文 | 第50-51页 |
致谢 | 第51-52页 |
详细摘要 | 第52-54页 |