| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-11页 |
| 1 绪论 | 第11-52页 |
| ·前言 | 第11页 |
| ·扫描探针显微技术及其发展概况 | 第11-12页 |
| ·扫描探针显微镜工作原理 | 第12-23页 |
| ·扫描隧道显微镜 | 第13-15页 |
| ·原子力显微镜 | 第15-16页 |
| ·原子作用力及传感检测方法 | 第16-23页 |
| ·SPM 的主要应用 | 第23-29页 |
| ·在表面科学中的应用 | 第23-24页 |
| ·在生命科学中的应用 | 第24-26页 |
| ·在微纳加工中的应用 | 第26-29页 |
| ·压电传感微悬臂及其在AFM 系统中的应用 | 第29-49页 |
| ·传感器原理及压电式传感器 | 第29-39页 |
| ·压电微悬臂及其应用 | 第39-45页 |
| ·AFM 压电微悬臂的研究现状 | 第45-49页 |
| ·本论文课题的来源及其研究意义 | 第49-50页 |
| ·本论文课题的来源 | 第49-50页 |
| ·本论文课题的研究意义 | 第50页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 2 IPC-208B 型原子力显微镜系统改进及应用进展 | 第52-96页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·IPC-208B 型原子力显微镜系统组成 | 第52-69页 |
| ·镜体 | 第53-63页 |
| ·数据采集系统 | 第63-67页 |
| ·扫描系统 | 第67-68页 |
| ·计算机控制与处理 | 第68-69页 |
| ·运行及操作 | 第69-71页 |
| ·AFM.IPC-208B 系统的改进 | 第71-79页 |
| ·AFM 微悬臂及调节装置 | 第71-75页 |
| ·2D 调节监视系统与3D 光学系统 | 第75-77页 |
| ·下扫描设置 | 第77-79页 |
| ·应用进展 | 第79-94页 |
| ·微加工 | 第79-81页 |
| ·生物医药样品表征 | 第81-86页 |
| ·铁磁和铁电材料分析 | 第86-89页 |
| ·高分子聚合物纤维材料分析 | 第89-94页 |
| ·本章小结 | 第94-96页 |
| 3 AFM 压电微悬臂设计 | 第96-119页 |
| ·引言 | 第96-97页 |
| ·AFM 微悬臂形变与位移传感 | 第97-99页 |
| ·压电微悬臂工作原理 | 第99-101页 |
| ·作传感器工作原理 | 第99-100页 |
| ·作执行器工作原理 | 第100-101页 |
| ·AFM 压电微悬臂结构及系统设计 | 第101-109页 |
| ·微悬臂结构设计 | 第101-103页 |
| ·压电微悬臂AFM 系统设计 | 第103-106页 |
| ·AFM 探针工作模式及微悬臂的振动 | 第106-109页 |
| ·压电传感材料的选择 | 第109-111页 |
| ·压电微悬臂及探针工艺 | 第111-116页 |
| ·压电微悬臂微加工工艺 | 第111-114页 |
| ·探针制作工艺 | 第114-116页 |
| ·压电微悬臂的特点及应用前景 | 第116-118页 |
| ·压电微悬臂的特点 | 第116-117页 |
| ·压电微悬臂与其他方式微悬臂的对比分析 | 第117页 |
| ·压电微悬臂的应用前景 | 第117-118页 |
| ·本章小结 | 第118-119页 |
| 4 AFM 压电微悬臂的有限元分析 | 第119-155页 |
| ·引言 | 第119页 |
| ·有限元理论及ANSYS 仿真 | 第119-124页 |
| ·有限元理论 | 第119-122页 |
| ·ANSYS 仿真软件 | 第122-124页 |
| ·压电分析及其所需的材料参数 | 第124-130页 |
| ·压电分析 | 第124-126页 |
| ·所需的材料参数 | 第126-128页 |
| ·结构描述 | 第128-130页 |
| ·AFM 压电微悬臂的 Ansys 仿真分析 | 第130-152页 |
| ·创建模型 | 第131-136页 |
| ·静力分析 | 第136-138页 |
| ·参数分析 | 第138-141页 |
| ·模态分析 | 第141-144页 |
| ·灵敏度分析 | 第144-147页 |
| ·不同针尖位置的仿真对比分析 | 第147-152页 |
| ·优化分析 | 第152-154页 |
| ·本章小结 | 第154-155页 |
| 5 总结与展望 | 第155-157页 |
| ·全文总结 | 第155-156页 |
| ·展望 | 第156-157页 |
| 致谢 | 第157-158页 |
| 参考文献 | 第158-164页 |
| 附录 | 第164-165页 |